Vakua katoda arka jonocoating estas mallongigita kiel vakua arkocoagado. Se du aŭ pli da vakuarkaj vaporiĝfontoj (nomataj arkfontoj) estas uzataj, ĝi nomiĝas plur-arka jonacoatinganta aŭ plur-arkacoating. Ĝi estas vakua jona tegaĵteknologio, kiu uzas vakuan arkan malŝarĝon por vaporiĝaj fontoj. Male al la varma elektrona arko de kava katoda malŝarĝo, ĝia arka formo estas la formado de katodajn arkajn makulojn sur la surfaco de la malvarma katodo.
La karakterizaĵoj de vakua katoda arkjonocoatingantaj estas:
(1) La vaporiĝa fonto estas solida katodcelo, kiu rekte generas plasmon el la katodcela fonto sen bezono de fandita naĝejo. La arka cela fonto povas esti aranĝita en iu ajn direkto kaj pluraj fontoj povas certigi unuforman tegaĵon.
(2) La strukturo de la ekipaĵo estas relative simpla, sen bezono de laborgaso aŭ helpaj jonigaj metodoj. La fonto de la arka celo estas ne nur vaporiĝa fonto por la katoda materialo, sed ankaŭ jonfonto; Dum reaktiva deponado, nur reaktiva gaso ekzistas, kaj la atmosfero estas kontrolata per simpla plena prema kontrolo.
(3) La joniga rapideco estas alta, ĝenerale atingante 60%~80%, kaj la depozicia rapideco estas alta.
(4) La incida jona energio estas alta, kaj la filmo/substrata ligforto de la deponita filmo estas bona.
(5) Uzante malalttensian elektrofonton por sekura funkciado.
(6) Ĝi povas deponi metalajn filmojn, alojajn filmojn, reagi kaj sintezi diversajn komponaĵajn filmojn (amoniakaj kombinaĵoj, karbidoj, oksidoj), kaj eĉ sintezi DLC-filmojn, CN-filmojn, ktp. Ĝia malavantaĝo estas, ke dum deponado, etaj gutetoj de likvaĵo ŝpruciĝas de la cela surfaco, kiuj kondensiĝas en la kovrita filmotavolo kaj pliigas la malglatecon de la filmotavolo. Nuntempe, multaj efikaj metodoj estas studitaj por redukti kaj elimini ĉi tiujn mikrogutetojn.
Vakua arka jonocoTegaĵa teknologio estis vaste uzata por kovri supermalmolajn protektajn tegaĵojn por iloj kaj muldiloj. Filmsistemoj inkluzivas TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, ktp. Tegaĵaj produktoj inkluzivas ilojn, muldilojn, ktp. Rilate al imita oro kaj koloraj dekoraciaj protektaj tegaĵoj, filmsistemoj inkluzivas TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, ktp. Koloraj filmsistemoj inkluzivas pafnigran, nigran, violan, brunan, bluan, verdan, grizan, ktp.
Multarka jonocoTegado havas vastan gamon da aplikoj kaj fortan praktikecon, precipe en kovrado de dekoraciaj kaj eluziĝ-rezistaj malmolaj filmtavoloj sur la surfacoj de materialoj kiel tranĉiloj, ŝablonoj kaj rustorezistaŝtalaj platoj.
Afiŝtempo: 17-a de aŭgusto 2023