Η επίστρωση με πηγή αντίστασης εξάτμισης είναι μια βασική μέθοδος επίστρωσης με εξάτμιση κενού. Η «εξάτμιση» αναφέρεται σε μια μέθοδο παρασκευής λεπτής μεμβράνης στην οποία το υλικό επίστρωσης στον θάλαμο κενού θερμαίνεται και εξατμίζεται, έτσι ώστε τα άτομα ή τα μόρια του υλικού να εξατμίζονται και να διαφεύγουν από την επιφάνεια, σχηματίζοντας ένα φαινόμενο ροής ατμών, που προσπίπτει στην επιφάνεια του υποστρώματος ή του υποστρώματος και τελικά συμπυκνώνεται για να σχηματίσει μια στερεά μεμβράνη.
Η λεγόμενη μέθοδος επίστρωσης πηγής εξάτμισης με αντίσταση είναι η χρήση τανταλίου, μολυβδαινίου, βολφραμίου και άλλων μετάλλων υψηλού σημείου τήξης για τη δημιουργία ενός κατάλληλου σχήματος πηγής εξάτμισης, η οποία φορτώνεται με υλικά προς εξάτμιση, αφήνεται ο αέρας να ρέει μέσα από αυτά, θερμαίνεται και εξατμίζεται απευθείας τα εξατμισμένα υλικά ή τοποθετούνται τα υλικά προς εξάτμιση σε αλουμίνα, οξείδιο του βηρυλλίου και άλλα χωνευτήρια για έμμεση θέρμανση και εξάτμιση. Αυτή είναι η μέθοδος εξάτμισης με θέρμανση με αντίσταση.
Ομηχανή επικάλυψης κενού εξάτμισηςΗ θέρμανση και η εξάτμιση με θερμαντήρα αντίστασης έχει τα πλεονεκτήματα της απλής δομής, του χαμηλού κόστους και της αξιόπιστης χρήσης. Μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την επίστρωση με εξάτμιση υλικών με χαμηλό σημείο τήξης, ειδικά για μαζική παραγωγή με χαμηλές απαιτήσεις για την ποιότητα της επίστρωσης. Μέχρι στιγμής, υπάρχει ακόμα ένας μεγάλος αριθμός διεργασιών επίστρωσης με θέρμανση αντίστασης και εξάτμιση που χρησιμοποιούνται στην παραγωγή αλουμινένιων καθρεφτών.
Τα μειονεκτήματα της μεθόδου επίστρωσης με εξάτμιση με αντίσταση είναι ότι η μέγιστη θερμοκρασία που μπορεί να επιτευχθεί με θέρμανση είναι περιορισμένη και η διάρκεια ζωής του θερμαντήρα είναι επίσης σύντομη. Τα τελευταία χρόνια, προκειμένου να βελτιωθεί η διάρκεια ζωής της πηγής εξάτμισης με αντίσταση, το εργοστάσιο εξοπλισμού έχει υιοθετήσει το αγώγιμο κεραμικό υλικό που συντίθεται από νιτρίδιο του βορίου με μεγάλη διάρκεια ζωής ως πηγή εξάτμισης. Σύμφωνα με μια ιαπωνική αναφορά ευρεσιτεχνίας, μπορεί να χρησιμοποιήσει υλικά που αποτελούνται από 20%~30% νιτρίδιο του βορίου και πυρίμαχα υλικά που μπορούν να συντηχθούν με αυτό για να δημιουργήσουν την πηγή εξάτμισης (χωνευτήριο) και να επικαλύψουν την επιφάνειά της με ένα στρώμα ζιρκονίου που περιέχει 62%~82%, και τα υπόλοιπα είναι υλικά κράματος ζιρκονίου-πυριτίου.
Ώρα δημοσίευσης: 22 Απριλίου 2023