Vakuumkatodebueioncoating forkortes som vakuumbuecoHvis der anvendes to eller flere vakuumbuefordampningskilder (benævnt buekilder), kaldes det multibue-ionfordampning.coating eller multibuecoDet er en vakuumionbelægningsteknologi, der bruger vakuumbueudladning til fordampningskilder. I modsætning til den varme elektronbue fra hul katodeudladning er dens bueform dannelsen af katodebuepletter på overfladen af den kolde katode.
Karakteristika for vakuumkatodebueioncoating er:
(1) Fordampningskilden er et fast katodemål, som direkte genererer plasma fra katodemålkilden uden behov for et smeltebad. Lysbuemålkilden kan arrangeres i enhver retning og fra flere kilder for at sikre ensartet belægning.
(2) Udstyrets struktur er relativt enkel, uden behov for arbejdsgas eller hjælpeioniseringsmetoder. Lysbuekilden er ikke kun en fordampningskilde for katodematerialet, men også en ionkilde; Under reaktiv aflejring findes der kun reaktiv gas, og atmosfæren styres ved hjælp af en simpel fuld trykregulering.
(3) Ioniseringshastigheden er høj og når generelt 60% ~ 80%, og aflejringshastigheden er høj.
(4) Den indfaldende ionenergi er høj, og den aflejrede films film/substratbindingskraft er god.
(5) Brug af en lavspændingsstrømforsyning for sikker drift.
(6) Den kan aflejre metalfilm, legeringsfilm, reagere med og syntetisere forskellige sammensatte film (ammoniakforbindelser, karbider, oxider) og endda syntetisere DLC-film, CN-film osv. Ulempen er, at der under aflejringen sprøjtes små væskedråber fra måloverfladen, som kondenserer i det belagte filmlag og øger filmlagets ruhed. I øjeblikket er der blevet undersøgt mange effektive metoder til at reducere og eliminere disse mikrodråber.
VakuumbueioncoBelægningsteknologi er blevet brugt i vid udstrækning til at belægge superhårde beskyttende belægninger til værktøj og forme. Filmsystemer omfatter TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC osv. Belægningsprodukter omfatter værktøj, forme osv. Med hensyn til imiteret guld og farvedekorative beskyttende belægninger omfatter filmsystemer TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON osv. Farvefilmsystemer omfatter pistolsort, sort, lilla, brun, blågrøn grå osv.
Multibue-ioncoAting har en bred vifte af anvendelser og er stærkt praktisk anvendelig, især til belægning af dekorative og slidstærke hårde filmlag på overflader af materialer som skæreværktøjer, forme og plader af rustfrit stål.
Opslagstidspunkt: 17. august 2023