Nanášení povlaku odporovým napařováním je základní metoda vakuového napařování. „Napařování“ označuje metodu přípravy tenkého filmu, při které se povlakový materiál ve vakuové komoře zahřívá a odpařuje, takže atomy nebo molekuly materiálu se odpařují a unikají z povrchu, čímž vzniká jev proudění páry, která dopadá na povrch substrátu nebo substrátu a nakonec kondenzuje za vzniku pevného filmu.
Takzvaná metoda nanášení odpařovacího zdroje spočívá v použití tantalu, molybdenu, wolframu a dalších kovů s vysokou teplotou tání k vytvoření vhodného tvaru odpařovacího zdroje, který je naplněn odpařovaným materiálem, nechává se proudit vzduch, přímo se ohřívá a odpařuje odpařený materiál, nebo se odpařovaný materiál umístí do kelímků z oxidu hlinitého, oxidu berylia a dalších kelímků pro nepřímý ohřev a odpařování. Jedná se o metodu odpařování s odporovým ohřevem.
Ten/Ta/Tovakuový odpařovací povlakovací strojOhřev a odpařování odporovým ohřívačem má výhody jednoduché konstrukce, nízkých nákladů a spolehlivého použití. Lze jej použít pro napařování materiálů s nízkým bodem tání, zejména pro hromadnou výrobu s nízkými požadavky na kvalitu povlaku. Dosud existuje velké množství procesů napařování odporovým ohřevem a odpařováním používaných při výrobě hliníkovaných zrcadel.
Nevýhodou metody napařování zdrojem odporového odpařování je omezená maximální teplota, které lze dosáhnout ohřevem, a krátká životnost ohřívače. V posledních letech, aby se zlepšila životnost zdroje odporového odpařování, továrny na zařízení začaly používat jako zdroj odpařování vodivý keramický materiál syntetizovaný z nitridu boru s dlouhou životností. Podle japonské patentové zprávy lze použít materiály složené z 20 % až 30 % nitridu boru a žáruvzdorné materiály, které lze s ním spojit, aby se vytvořil zdroj odpařování (kelímek), a jeho povrch se pokryje vrstvou zirkonia obsahující 62 % až 82 % a zbytek tvoří slitiny zirkonia a křemíku.
Čas zveřejnění: 22. dubna 2023