V procesu naprašování lze sloučeniny použít jako terče pro přípravu chemicky syntetizovaných filmů. Složení filmu vytvořeného po naprašování terčového materiálu se však často značně odchyluje od původního složení terčového materiálu, a proto nesplňuje požadavky původního návrhu. Pokud se použije čistý kovový terč, je požadovaný aktivní plyn (např. kyslík při přípravě oxidových filmů) záměrně přimíchán do pracovního (výbojového) plynu, aby chemicky reagoval s terčovým materiálem za vzniku tenkého filmu, jehož složení a vlastnosti lze kontrolovat. Tato metoda se často označuje jako „reakční naprašování“.
Jak již bylo zmíněno, RF naprašování lze použít k nanášení dielektrických filmů a různých sloučeninových filmů. Pro přípravu „čistého“ filmu je však nutné mít „čistý“ terč, vysoce čistý oxidový, nitridový, karbidový nebo jiný sloučeninový prášek. Zpracování těchto prášků do terče určitého tvaru vyžaduje přidání přísad nezbytných pro lisování nebo spékání, což má za následek výrazné snížení čistoty terče a výsledného filmu. Při reaktivním naprašování jsou však díky možnosti použití vysoce čistých kovů a vysoce čistých plynů zajištěny vhodné podmínky pro přípravu vysoce čistých filmů. Reaktivní naprašování se v posledních letech těší stále větší pozornosti a stalo se hlavní metodou pro precipitaci tenkých filmů různých funkčních sloučenin. Široce se používá při výrobě sloučenin IV, I- a IV-V, žáruvzdorných polovodičů a různých oxidů, jako je například použití polykrystalické směsi plynů Si a CH₄/Ar pro srážení tenkých vrstev SiC, Ti terče a N/Ar pro přípravu tvrdých vrstev TiN, Ta a O/Ar pro přípravu TaO₃; dielektrických tenkých vrstev, Fe a O₂/Ar pro přípravu -FezO₃; záznamových vrstev -FezO₃, piezoelektrických vrstev AIN s Al a N/Ar, selektivních absorpčních vrstev A1-CO s Al a CO/Ar a supravodivých vrstev YBaCuO s Y-Ba-Cu a O/Ar, mimo jiné.
–Tento článek vydávávýrobce vakuových lakovacích strojůGuangdong Zhenhua
Čas zveřejnění: 18. ledna 2024