Vakuová katoda s obloukem a iontovou ionizacícoOblouk se zkratkou nazývá vakuový oblouk.coPokud se použijí dva nebo více zdrojů vakuového obloukového odpařování (označovaných jako obloukové zdroje), nazývá se to víceobloukové ionizační zařízení.coobloukové nebo víceobloukovécoJedná se o technologii vakuového iontového povlakování, která využívá vakuový obloukový výboj jako zdroje odpařování. Na rozdíl od horkého elektronového oblouku výboje s dutou katodou je jeho oblouková forma tvorbou katodových obloukových skvrn na povrchu studené katody.
Charakteristiky vakuové katody s obloukem a iontovým obloukemcojsou:
(1) Zdrojem odpařování je pevný katodový terč, který přímo generuje plazma z katodového terčového zdroje bez nutnosti roztavené lázně. Zdroj obloukového terče může být uspořádán v libovolném směru a může být použito více zdrojů pro zajištění rovnoměrného povlaku.
(2) Struktura zařízení je relativně jednoduchá, bez potřeby pracovního plynu nebo pomocných ionizačních metod. Zdroj obloukového terče není jen zdrojem odpařování katodového materiálu, ale také zdrojem iontů; během reaktivního nanášení existuje pouze reaktivní plyn a atmosféra je řízena jednoduchým regulátorem plného tlaku.
(3) Rychlost ionizace je vysoká, obvykle dosahuje 60 % až 80 %, a rychlost depozice je vysoká.
(4) Energie dopadajících iontů je vysoká a síla vazby mezi filmem a substrátem naneseného filmu je dobrá.
(5) Použití nízkonapěťového zdroje napájení pro bezpečný provoz.
(6) Může nanášet kovové filmy, slitinové filmy, reagovat a syntetizovat různé sloučeninové filmy (sloučeniny amoniaku, karbidy, oxidy) a dokonce syntetizovat DLC filmy, CN filmy atd. Jeho nevýhodou je, že během nanášení z cílového povrchu stříkají drobné kapičky kapaliny, které kondenzují v potažené vrstvě filmu a zvyšují její drsnost. V současné době bylo studováno mnoho účinných metod pro snížení a eliminaci těchto mikrokapiček.
Vakuový obloukový ioncoTechnologie nanášení povlaků se široce používá k nanášení supertvrdých ochranných povlaků na nástroje a formy. Mezi filmové systémy patří TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC atd. Mezi povlakové produkty patří nástroje, formy atd. Pokud jde o imitaci zlata a barevné dekorativní ochranné povlaky, filmové systémy zahrnují TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON atd. Barevné filmové systémy zahrnují černou, černou, fialovou, hnědou, modrozelenou, šedou atd.
Víceobloukové iontycoPovrchová úprava má širokou škálu uplatnění a velkou praktičnost, zejména při nanášení dekorativních a otěruvzdorných tvrdých filmů na povrchy materiálů, jako jsou řezné nástroje, formy a nerezové plechy.
Čas zveřejnění: 17. srpna 2023