El recobriment per font d'evaporació per resistència és un mètode bàsic de recobriment per evaporació al buit. "Evaporació" es refereix a un mètode de preparació de pel·lícules primes en què el material de recobriment a la cambra de buit s'escalfa i s'evapora, de manera que els àtoms o molècules del material s'evaporen i escapen de la superfície, formant un fenomen de flux de vapor, incident a la superfície del substrat o substrat i finalment condensant-se per formar una pel·lícula sòlida.
El mètode de recobriment de fonts d'evaporació per resistència consisteix a utilitzar tàntal, molibdè, tungstè i altres metalls d'alt punt de fusió per crear una forma adequada de font d'evaporació, que es carrega amb materials que s'han d'evaporar, deixa que l'aire flueixi a través d'ells, escalfa i evapora directament els materials evaporats, o posa els materials que s'han d'evaporar en alúmina, òxid de beril·li i altres gresols per a un escalfament i evaporació indirectes. Aquest és el mètode d'evaporació per escalfament per resistència.
Elmàquina de recobriment per evaporació al buitL'escalfament i l'evaporació mitjançant un escalfador de resistència tenen els avantatges d'una estructura senzilla, un baix cost i un ús fiable. Es pot utilitzar per al recobriment per evaporació de materials amb un punt de fusió baix, especialment per a la producció en massa amb baixos requisits de qualitat del recobriment. Fins ara, encara hi ha un gran nombre de processos de recobriment d'escalfament per resistència i evaporació que s'utilitzen en la producció de miralls aluminitzats.
Els desavantatges del mètode de recobriment per evaporació de la font d'evaporació per resistència són que la temperatura màxima que es pot assolir mitjançant l'escalfament és limitada i la vida útil de l'escalfador també és curta. En els darrers anys, per tal de millorar la vida útil de la font d'evaporació per resistència, la fàbrica d'equips ha adoptat el material ceràmic conductor sintetitzat per nitrur de bor amb una llarga vida útil com a font d'evaporació. Segons un informe de patent japonès, pot utilitzar materials compostos per un 20% ~ 30% de nitrur de bor i materials refractaris que es poden fusionar amb ell per fer la font d'evaporació (gresol), i recobrir la seva superfície amb una capa de zirconi que conté un 62% ~ 82%, i la resta són materials d'aliatge de zirconi-silici.
Data de publicació: 22 d'abril de 2023