Vakuumska katoda, luk ionicoVakuumski luk se skraćeno nazivacoAko se koriste dva ili više izvora vakuumskog lučnog isparavanja (nazivaju se izvori luka), to se naziva višestruko lučno isparavanjecoiranje ili višestruki lukcoTo je tehnologija vakuumskog jonskog premazivanja koja koristi vakuumsko lučno pražnjenje za izvore isparavanja. Za razliku od luka vrućih elektrona kod pražnjenja šuplje katode, njegov oblik luka je formiranje katodnih lukovnih mrlja na površini hladne katode.
Karakteristike vakuumske katodne elektrolučne ionecoating su:
(1) Izvor isparavanja je čvrsta katodna meta, koja direktno generira plazmu iz izvora katodne mete bez potrebe za rastopljenim bazenom. Izvor lučne mete može se postaviti u bilo kojem smjeru i s više izvora kako bi se osiguralo ravnomjerno nanošenje premaza.
(2) Struktura opreme je relativno jednostavna, bez potrebe za radnim plinom ili pomoćnim metodama ionizacije. Izvor mete za luk nije samo izvor isparavanja katodnog materijala, već i izvor iona; Tokom reaktivnog taloženja postoji samo reaktivni plin, a atmosfera se kontrolira pomoću jednostavne kontrole punog pritiska.
(3) Stopa jonizacije je visoka, uglavnom dostiže 60%~80%, a stopa taloženja je visoka.
(4) Energija upadnih iona je visoka, a sila vezivanja filma i podloge deponovanog filma je dobra.
(5) Korištenje niskonaponskog napajanja za siguran rad.
(6) Može taložiti metalne filmove, legure, reagovati i sintetizirati različite složene filmove (amonijeva jedinjenja, karbide, okside), pa čak i sintetizirati DLC filmove, CN filmove itd. Njegov nedostatak je što se tokom taloženja sitne kapljice tečnosti raspršuju sa ciljne površine, koje se kondenzuju u premazanom sloju filma i povećavaju hrapavost sloja filma. Trenutno je proučeno mnogo efikasnih metoda za smanjenje i eliminaciju ovih mikro kapljica.
Vakuumski luk ionacoTehnologija premazivanja se široko koristi za nanošenje supertvrdih zaštitnih premaza za alate i kalupe. Sistemi premaza uključuju TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, itd. Proizvodi za premazivanje uključuju alate, kalupe itd. Što se tiče imitacije zlata i dekorativnih zaštitnih premaza u boji, sistemi premaza uključuju TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, itd. Sistemi premaza u boji uključuju crnu, crnu, ljubičastu, smeđu, plavu, zeleno-sivu, itd.
Višestruki luk ionacoPremazivanje ima širok spektar primjene i veliku praktičnost, posebno u nanošenju dekorativnih i otpornih na habanje tvrdih filmskih slojeva na površinama materijala kao što su alati za rezanje, kalupi i ploče od nehrđajućeg čelika.
Vrijeme objave: 17. avg. 2023.