প্রতিরোধ বাষ্পীভবন উৎস আবরণ হল একটি মৌলিক ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন আবরণ পদ্ধতি। "বাষ্পীভবন" বলতে একটি পাতলা ফিল্ম প্রস্তুতি পদ্ধতি বোঝায় যেখানে ভ্যাকুয়াম চেম্বারের আবরণ উপাদান উত্তপ্ত এবং বাষ্পীভূত হয়, যাতে উপাদানের পরমাণু বা অণুগুলি বাষ্পীভূত হয় এবং পৃষ্ঠ থেকে বেরিয়ে যায়, একটি বাষ্প প্রবাহের ঘটনা তৈরি করে, সাবস্ট্রেট বা সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে ঘটনা ঘটে এবং অবশেষে ঘনীভূত হয়ে একটি কঠিন ফিল্ম তৈরি করে।
তথাকথিত প্রতিরোধ বাষ্পীভবন উৎস আবরণ পদ্ধতি হল ট্যানটালাম, মলিবডেনাম, টাংস্টেন এবং অন্যান্য উচ্চ গলনাঙ্কের ধাতু ব্যবহার করে বাষ্পীভবন উৎসের উপযুক্ত আকৃতি তৈরি করা, যা বাষ্পীভবনের জন্য উপকরণ দিয়ে লোড করা হয়, বায়ু প্রবাহিত হতে দেওয়া হয়, সরাসরি উত্তপ্ত করা হয় এবং বাষ্পীভবন করা হয়, অথবা বাষ্পীভবনের জন্য উপকরণগুলিকে অ্যালুমিনা, বেরিলিয়াম অক্সাইড এবং অন্যান্য ক্রুসিবলে পরোক্ষ উত্তাপ এবং বাষ্পীভবনের জন্য রাখা হয়। এটি প্রতিরোধ গরম করার বাষ্পীভবন পদ্ধতি।
দ্যভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন আবরণ মেশিনরেজিস্ট্যান্স হিটার দ্বারা উত্তপ্ত এবং বাষ্পীভূত হওয়ার সুবিধা হল এর সহজ গঠন, কম খরচ এবং নির্ভরযোগ্য ব্যবহার। এটি কম গলনাঙ্ক বিশিষ্ট উপকরণের বাষ্পীভবন আবরণের জন্য ব্যবহার করা যেতে পারে, বিশেষ করে আবরণের মানের জন্য কম প্রয়োজনীয়তা সহ ব্যাপক উৎপাদনের জন্য। এখনও পর্যন্ত, অ্যালুমিনাইজড আয়না তৈরিতে প্রতিরোধী উত্তাপ এবং বাষ্পীভবনের প্রচুর সংখ্যক আবরণ প্রক্রিয়া ব্যবহার করা হচ্ছে।
প্রতিরোধ বাষ্পীভবন উৎস বাষ্পীভবন আবরণ পদ্ধতির অসুবিধাগুলি হল তাপীকরণের মাধ্যমে সর্বোচ্চ তাপমাত্রায় পৌঁছানো সম্ভব, এবং হিটারের পরিষেবা জীবনও কম। সাম্প্রতিক বছরগুলিতে, প্রতিরোধ বাষ্পীভবন উৎসের জীবন উন্নত করার জন্য, সরঞ্জাম কারখানাটি বোরন নাইট্রাইড দ্বারা সংশ্লেষিত দীর্ঘ জীবনকাল সহ পরিবাহী সিরামিক উপাদান গ্রহণ করেছে। একটি জাপানি পেটেন্ট রিপোর্ট অনুসারে, এটি 20% ~ 30% বোরন নাইট্রাইড এবং অবাধ্য পদার্থ দিয়ে তৈরি উপকরণ ব্যবহার করতে পারে যা এর সাথে মিশ্রিত করা যেতে পারে বাষ্পীভবন উৎস (ক্রুসিবল) তৈরি করতে, এবং এর পৃষ্ঠকে 62% ~ 82% ধারণকারী জিরকোনিয়ামের একটি স্তর দিয়ে আবৃত করতে পারে এবং বাকিগুলি জিরকোনিয়াম-সিলিকন খাদ পদার্থ।
পোস্টের সময়: এপ্রিল-২২-২০২৩