স্পুটারিং লেপ প্রক্রিয়ায়, রাসায়নিকভাবে সংশ্লেষিত ফিল্ম তৈরির জন্য যৌগগুলিকে লক্ষ্যবস্তু হিসেবে ব্যবহার করা যেতে পারে। তবে, লক্ষ্যবস্তুতে স্পুটারিংয়ের পরে তৈরি ফিল্মের গঠন প্রায়শই লক্ষ্যবস্তুর মূল গঠন থেকে অনেক দূরে চলে যায় এবং তাই মূল নকশার প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে না। যদি একটি বিশুদ্ধ ধাতব লক্ষ্যবস্তু ব্যবহার করা হয়, তাহলে প্রয়োজনীয় সক্রিয় গ্যাস (যেমন, অক্সাইড ফিল্ম তৈরির সময় অক্সিজেন) সচেতনভাবে কার্যকরী (স্রাব) গ্যাসে মিশ্রিত করা হয়, যাতে এটি লক্ষ্যবস্তুর সাথে রাসায়নিকভাবে বিক্রিয়া করে একটি পাতলা ফিল্ম তৈরি করে যা এর গঠন এবং বৈশিষ্ট্যের দিক থেকে নিয়ন্ত্রণ করা যেতে পারে। এই পদ্ধতিটিকে প্রায়শই "প্রতিক্রিয়া স্পুটারিং" বলা হয়।
আগেই উল্লেখ করা হয়েছে, RF স্পুটারিং ডাইইলেকট্রিক ফিল্ম এবং বিভিন্ন যৌগিক ফিল্ম জমা করার জন্য ব্যবহার করা যেতে পারে। তবে, একটি "বিশুদ্ধ" ফিল্ম তৈরির জন্য, একটি "বিশুদ্ধ" টার্গেট, একটি উচ্চ-বিশুদ্ধতা অক্সাইড, নাইট্রাইড, কার্বাইড, বা অন্যান্য যৌগিক পাউডার থাকা প্রয়োজন। এই পাউডারগুলিকে একটি নির্দিষ্ট আকৃতির টার্গেটে প্রক্রিয়াকরণের জন্য ছাঁচনির্মাণ বা সিন্টারিংয়ের জন্য প্রয়োজনীয় সংযোজন যোগ করা প্রয়োজন, যার ফলে লক্ষ্য এবং ফলস্বরূপ ফিল্মের বিশুদ্ধতা উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস পায়। তবে, প্রতিক্রিয়াশীল স্পুটারিংয়ে, যেহেতু উচ্চ-বিশুদ্ধতা ধাতু এবং উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাস ব্যবহার করা যেতে পারে, তাই উচ্চ-বিশুদ্ধতা ফিল্ম তৈরির জন্য সুবিধাজনক পরিস্থিতি প্রদান করা হয়। সাম্প্রতিক বছরগুলিতে প্রতিক্রিয়াশীল স্পুটারিং ক্রমবর্ধমান মনোযোগ পেয়েছে এবং বিভিন্ন কার্যকরী যৌগের পাতলা ফিল্ম তৈরির জন্য একটি প্রধান পদ্ধতি হয়ে উঠেছে। এটি IV, I- এবং IV-V যৌগ, অবাধ্য সেমিকন্ডাক্টর এবং বিভিন্ন ধরণের অক্সাইড তৈরিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়েছে, যেমন SiC পাতলা ফিল্মের বৃষ্টিপাত শুট করার জন্য গ্যাসের পলিক্রিস্টালাইন Si এবং CH./Ar মিশ্রণ, TiN হার্ড ফিল্ম তৈরির জন্য Ti টার্গেট এবং N/Ar, TaO প্রস্তুত করার জন্য Ta এবং O/Ar; -FezO প্রস্তুত করার জন্য ডাইইলেক্ট্রিক পাতলা ফিল্ম, Fe এবং O,/Ar; -FezO. রেকর্ডিং ফিল্ম, A1 এবং N/Ar সহ AIN পাইজোইলেকট্রিক ফিল্ম, AI এবং CO/Ar সহ A1-CO নির্বাচনী শোষণ ফিল্ম, এবং Y-Ba-Cu এবং O/Ar সহ YBaCuO- সুপারকন্ডাক্টিং ফিল্ম, অন্যান্য।
–এই প্রবন্ধটি প্রকাশিত হয়েছেভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্টের সময়: জানুয়ারী-১৮-২০২৪