ভ্যাকুয়াম ক্যাথোড আর্ক আয়নcoating কে সংক্ষেপে ভ্যাকুয়াম আর্ক বলা হয়।coযদি দুই বা ততোধিক ভ্যাকুয়াম আর্ক বাষ্পীভবন উৎস (যাকে আর্ক সোর্স বলা হয়) ব্যবহার করা হয়, তাহলে তাকে মাল্টি আর্ক আয়ন বলা হয়coঅ্যাটিং বা মাল্টি আর্কcoএটি একটি ভ্যাকুয়াম আয়ন আবরণ প্রযুক্তি যা বাষ্পীভবন উৎসের জন্য ভ্যাকুয়াম আর্ক ডিসচার্জ ব্যবহার করে। ফাঁপা ক্যাথোড ডিসচার্জের গরম ইলেকট্রন আর্কের বিপরীতে, এর আর্ক ফর্ম হল ঠান্ডা ক্যাথোডের পৃষ্ঠে ক্যাথোড আর্ক দাগ তৈরি করা।
ভ্যাকুয়াম ক্যাথোড আর্ক আয়নের বৈশিষ্ট্যcoখাবারগুলো হলো:
(১) বাষ্পীভবন উৎস হল একটি কঠিন ক্যাথোড লক্ষ্য, যা গলিত পুলের প্রয়োজন ছাড়াই সরাসরি ক্যাথোড লক্ষ্য উৎস থেকে প্লাজমা তৈরি করে। অভিন্ন আবরণ নিশ্চিত করার জন্য আর্ক লক্ষ্য উৎসটি যেকোনো দিকে এবং একাধিক উৎসে সাজানো যেতে পারে।
(২) সরঞ্জামের কাঠামো তুলনামূলকভাবে সহজ, কার্যকরী গ্যাস বা সহায়ক আয়নীকরণ পদ্ধতির প্রয়োজন নেই। আর্ক টার্গেট উৎস কেবল ক্যাথোড উপাদানের জন্য একটি বাষ্পীভবন উৎস নয়, বরং একটি আয়ন উৎসও; প্রতিক্রিয়াশীল জমার সময়, শুধুমাত্র প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস বিদ্যমান থাকে এবং বায়ুমণ্ডল একটি সাধারণ পূর্ণ চাপ নিয়ন্ত্রণ ব্যবহার করে নিয়ন্ত্রিত হয়।
(৩) আয়নীকরণের হার বেশি, সাধারণত ৬০%~৮০% পর্যন্ত পৌঁছায় এবং জমার হার বেশি।
(৪) আপতিত আয়ন শক্তি বেশি, এবং জমা হওয়া ফিল্মের ফিল্ম/সাবস্ট্রেট বন্ধন বল ভালো।
(৫) নিরাপদ অপারেশনের জন্য কম ভোল্টেজের পাওয়ার সাপ্লাই ব্যবহার করা।
(৬) এটি ধাতব ফিল্ম, অ্যালয় ফিল্ম জমা করতে পারে, বিভিন্ন যৌগিক ফিল্ম (অ্যামোনিয়া যৌগ, কার্বাইড, অক্সাইড) বিক্রিয়া এবং সংশ্লেষণ করতে পারে, এমনকি DLC ফিল্ম, CN ফিল্ম ইত্যাদিও সংশ্লেষণ করতে পারে। এর অসুবিধা হল জমার সময়, লক্ষ্য পৃষ্ঠ থেকে তরলের ক্ষুদ্র ক্ষুদ্র ফোঁটা ছিটকে পড়ে, যা প্রলিপ্ত ফিল্ম স্তরে ঘনীভূত হয় এবং ফিল্ম স্তরের রুক্ষতা বৃদ্ধি করে। বর্তমানে, এই মাইক্রো ফোঁটাগুলি কমাতে এবং নির্মূল করার জন্য অনেক কার্যকর পদ্ধতি অধ্যয়ন করা হয়েছে।
ভ্যাকুয়াম আর্ক আয়নcoসরঞ্জাম এবং ছাঁচের জন্য সুপারহার্ড প্রতিরক্ষামূলক আবরণ আবরণ করার জন্য ating প্রযুক্তি ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়েছে। ফিল্ম সিস্টেমের মধ্যে রয়েছে TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, ইত্যাদি। লেপ পণ্যের মধ্যে রয়েছে সরঞ্জাম, ছাঁচ ইত্যাদি। অনুকরণ সোনা এবং রঙের আলংকারিক প্রতিরক্ষামূলক আবরণের ক্ষেত্রে, ফিল্ম সিস্টেমের মধ্যে রয়েছে TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, ইত্যাদি। রঙিন ফিল্ম সিস্টেমের মধ্যে রয়েছে বন্দুক কালো, কালো, বেগুনি, বাদামী, নীল সবুজ ধূসর ইত্যাদি।
মাল্টি আর্ক আয়নcoএটিং এর বিস্তৃত প্রয়োগ এবং শক্তিশালী ব্যবহারিকতা রয়েছে, বিশেষ করে কাটিং টুল, ছাঁচ এবং স্টেইনলেস স্টিলের প্লেটের মতো উপকরণের পৃষ্ঠে আলংকারিক এবং পরিধান-প্রতিরোধী শক্ত ফিল্ম স্তর আবরণে।
পোস্টের সময়: আগস্ট-১৭-২০২৩