Покритието чрез резистивно изпаряване е основен метод за вакуумно изпаряване. „Изпаряването“ се отнася до метод за приготвяне на тънък филм, при който материалът на покритието се нагрява и изпарява във вакуумната камера, така че атомите или молекулите на материала се изпаряват и излизат от повърхността, образувайки феномен на парно течение, което пада върху повърхността на субстрата или основата и накрая се кондензира, за да образува твърд филм.
Така нареченият метод за покритие с източник на резистивно изпарение е да се използват тантал, молибден, волфрам и други метали с висока точка на топене, за да се създаде подходяща форма на източник на изпарение. Той се зарежда с материали за изпаряване, позволява се въздухът да преминава през него, директно нагрява и изпарява изпарените материали или се поставят в тигли от алуминиев оксид, берилиев оксид и други за индиректно нагряване и изпаряване. Това е методът на резистивно нагряване и изпаряване.
Theмашина за вакуумно изпаряване на покритиеНагряването и изпаряването чрез резистивен нагревател имат предимствата на проста структура, ниска цена и надеждна употреба. Може да се използва за изпарително покритие на материали с ниска точка на топене, особено за масово производство с ниски изисквания за качество на покритието. Досега все още има голям брой процеси на покритие чрез резистивно нагряване и изпаряване, използвани в производството на алуминизирани огледала.
Недостатъците на метода за покритие с изпарение чрез резистивно изпарение са ограничената максимална температура, която може да се достигне чрез нагряване, и краткият експлоатационен живот на нагревателя. През последните години, за да се подобри животът на резистивния изпарителен източник, заводът за оборудване е използвал проводим керамичен материал, синтезиран от боров нитрид с дълъг живот, като източник на изпарение. Според японски патентен доклад, той може да използва материали, съставени от 20%~30% боров нитрид и огнеупорни материали, които могат да бъдат слети с него, за да се образува източникът на изпарение (тигел), и да се покрие повърхността му със слой цирконий, съдържащ 62%~82%, а останалата част са циркониево-силициеви сплави.
Време на публикуване: 22 април 2023 г.