Вакуумна катодна дъгова йоннаco„ating“ се съкращава като вакуумна дъга.coАко се използват два или повече източника на вакуумно дъгово изпарение (наричани дъгови източници), това се нарича многодъгово йонноcoиране или многодъговаcoТова е технология за вакуумно йонно покритие, която използва вакуумен дъгов разряд за източници на изпарение. За разлика от горещата електронна дъга на разряд с кух катод, неговата дъгова форма представлява образуване на катодни дъгови петна върху повърхността на студения катод.
Характеристики на вакуумния катод с дъгова йонизацияcoатирането са:
(1) Източникът на изпарение е твърда катодна мишена, която генерира плазма директно от катодния източник, без да е необходима разтопена вана. Източникът на дъгова мишена може да бъде разположен във всяка посока и с множество източници, за да се осигури равномерно покритие.
(2) Структурата на оборудването е сравнително проста, без нужда от работен газ или спомагателни методи за йонизация. Източникът на дъгова мишена е не само източник на изпарение за катодния материал, но и източник на йони; По време на реактивно отлагане съществува само реактивен газ, а атмосферата се контролира с помощта на прост контрол на пълното налягане.
(3) Скоростта на йонизация е висока, обикновено достигаща 60%~80%, а скоростта на отлагане е висока.
(4) Енергията на падащите йони е висока, а силата на свързване на филма/субстрата на отложения филм е добра.
(5) Използване на нисковолтово захранване за безопасна работа.
(6) Може да отлага метални филми, филми от сплави, да реагира и синтезира различни съставни филми (амонячни съединения, карбиди, оксиди) и дори да синтезира DLC филми, CN филми и др. Недостатъкът му е, че по време на отлагането от повърхността на целта се разпръскват малки капчици течност, които кондензират в покрития слой и увеличават грапавостта му. В момента са проучени много ефективни методи за намаляване и елиминиране на тези микрокапчици.
Вакуумна дъгова йонизацияcoТехнологията на покритие се използва широко за нанасяне на свръхтвърди защитни покрития за инструменти и форми. Филмовите системи включват TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC и др. Продуктите за покритие включват инструменти, форми и др. По отношение на имитацията на злато и цветните декоративни защитни покрития, филмовите системи включват TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON и др. Цветните филмови системи включват черно, черно, лилаво, кафяво, синьо, зелено, сиво и др.
Многодъгова йоннаcoПокритието има широк спектър от приложения и голяма практичност, особено при нанасяне на декоративни и износоустойчиви твърди филмови слоеве върху повърхностите на материали като режещи инструменти, форми и плочи от неръждаема стомана.
Време на публикуване: 17 август 2023 г.