Пакрыццё з дапамогай рэзістыўнага выпарэння — гэта базавы метад вакуумнага выпарэння. «Выпарванне» адносіцца да метаду падрыхтоўкі тонкай плёнкі, пры якім матэрыял пакрыцця награваецца і выпараецца ў вакуумнай камеры, у выніку чаго атамы або малекулы матэрыялу выпараюцца і выходзяць з паверхні, утвараючы з'яву патоку пары, які падае на паверхню падкладкі або субстрата і, нарэшце, кандэнсуецца, утвараючы цвёрдую плёнку.
Так званы метад нанясення пакрыцця крыніцай выпарэння з дапамогай рэзістыўнага награвання заключаецца ў выкарыстанні тантала, малібдэна, вальфраму і іншых металаў з высокай тэмпературай плаўлення для стварэння адпаведнай формы крыніцы выпарэння, якую загружаюць матэрыяламі, якія падлягаюць выпарэнню, прапускаюць паветра, непасрэдна награваюць і выпарваюць выпарваныя матэрыялы, альбо змяшчаюць матэрыялы, якія падлягаюць выпарэнню, у тыглі з аксіду алюмінію, аксіду берылію і іншых тыпаў для ўскоснага награвання і выпарэння. Гэта метад выпарэння з рэзістыўным награваннем.
Гэтымашына для вакуумнага выпарванняНаграванне і выпарванне з дапамогай рэзістыўнага награвальніка мае такія перавагі, як простая канструкцыя, нізкі кошт і надзейнасць выкарыстання. Яго можна выкарыстоўваць для нанясення пакрыццяў напыленнем на матэрыялы з нізкай тэмпературай плаўлення, асабліва для масавай вытворчасці з нізкімі патрабаваннямі да якасці пакрыцця. Да гэтага часу існуе вялікая колькасць працэсаў нанясення пакрыццяў рэзістыўным награваннем і выпарэннем, якія выкарыстоўваюцца ў вытворчасці алюмінізаваных люстэркаў.
Недахопамі метаду нанясення пакрыцця з дапамогай выпарвання з дапамогай крыніцы рэзістыўнага выпарэння з'яўляюцца абмежаванасць максімальнай тэмпературы, якую можна дасягнуць пры награванні, і кароткі тэрмін службы награвальніка. У апошнія гады, каб падоўжыць тэрмін службы крыніцы рэзістыўнага выпарэння, завод па вытворчасці абсталявання ў якасці крыніцы выпарэння выкарыстоўвае праводны керамічны матэрыял, сінтэзаваны з нітрыду бору з працяглым тэрмінам службы. Згодна з японскім патэнтным справаздачай, можна выкарыстоўваць матэрыялы, якія складаюцца з 20%~30% нітрыду бору і вогнетрывалых матэрыялаў, якія можна зліваць з ім, каб стварыць крыніцу выпарэння (тыгель), і пакрываць яе паверхню пластом цырконія, які змяшчае 62%~82%, а астатняе - гэта сплаў цырконія і крэмнію.
Час публікацыі: 22 красавіка 2023 г.