Вакуумны катод дугавой іённыcoскарочана называецца вакуумнай дугайcoКалі выкарыстоўваюцца дзве ці больш крыніц вакуумнага дугавога выпарэння (якія называюцца дугавымі крыніцамі), гэта называецца шматдугавым іённым выпарэннем.coдугавая або шматдугаваяcoГэта тэхналогія вакуумнага іённага пакрыцця, якая выкарыстоўвае вакуумны дугавы разрад для крыніц выпарэння. У адрозненне ад гарачай электроннай дугі разраду з полым катодам, яго дугавая форма заключаецца ў утварэнні плям катоднай дугі на паверхні халоднага катода.
Характарыстыкі вакуумнага катода з дугавым іёнамcoякія з'яўляюцца:
(1) Крыніца выпарэння — гэта цвёрдая катодная мішэнь, якая непасрэдна генеруе плазму з крыніцы катоднай мішэні без неабходнасці расплаўленай ванны. Крыніца дугавой мішэні можа быць размешчана ў любым кірунку і з некалькіх крыніц для забеспячэння раўнамернага пакрыцця.
(2) Канструкцыя абсталявання адносна простая, не патрабуе рабочага газу або дапаможных метадаў іанізацыі. Крыніца дугавой мішэні з'яўляецца не толькі крыніцай выпарэння катоднага матэрыялу, але і крыніцай іонаў; падчас рэактыўнага нанясення існуе толькі рэактыўны газ, а атмасфера кантралюецца з дапамогай простага кантролю поўнага ціску.
(3) Хуткасць іанізацыі высокая, звычайна дасягае 60%~80%, а хуткасць адкладання высокая.
(4) Энергія падаючых іонаў высокая, а сіла злучэння плёнкі з падкладкай добрая.
(5) Выкарыстанне нізкавольтнай крыніцы харчавання для бяспечнай працы.
(6) Ён можа наносіць металічныя плёнкі, плёнкі сплаваў, рэагаваць і сінтэзаваць розныя злучэнні (аміячныя злучэнні, карбіды, аксіды) і нават сінтэзаваць плёнкі DLC, плёнкі CN і г.д. Яго недахопам з'яўляецца тое, што падчас нанясення з паверхні мішэні разбрызгваюцца драбнюткія кроплі вадкасці, якія кандэнсуюцца ў пакрытым пласце плёнкі і павялічваюць яе шурпатасць. У цяперашні час вывучана шмат эфектыўных метадаў для памяншэння і ліквідацыі гэтых мікракропель.
Вакуумная дугавая іённаяcoТэхналогія пакрыцця шырока выкарыстоўваецца для нанясення звышцвёрдых ахоўных пакрыццяў на інструменты і формы. Плёнкавыя сістэмы ўключаюць TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC і г.д. Да прадуктаў пакрыцця адносяцца інструменты, формы і г.д. Што тычыцца імітацыі золата і каляровых дэкаратыўных ахоўных пакрыццяў, то плёнкавыя сістэмы ўключаюць TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON і г.д. Каляровыя плёнкавыя сістэмы ўключаюць пісталетна-чорны, чорны, фіялетавы, карычневы, сіні, зялёны, шэры і г.д.
Шматдугавы іёнcoПакрыццё мае шырокі спектр прымянення і вялікую практычнасць, асабліва пры нанясенні дэкаратыўных і зносаўстойлівых цвёрдых плёнкавых слаёў на паверхні такіх матэрыялаў, як рэжучыя інструменты, формы і пласціны з нержавеючай сталі.
Час публікацыі: 17 жніўня 2023 г.