Müqavimətli buxarlanma mənbəyi örtüyü əsas vakuum buxarlanma örtük üsuludur. "Buxarlanma" vakuum kamerasındakı örtük materialının qızdırıldığı və buxarlandığı, beləliklə materialın atomları və ya molekullarının buxarlanaraq səthdən çıxdığı, buxar axını fenomeni meydana gətirdiyi, substratın və ya substratın səthinə düşdüyü və nəhayət qatı bir film meydana gətirdiyi nazik təbəqənin hazırlanması üsuluna aiddir.
Müqavimətli buxarlanma mənbəyi ilə örtülmə üsulu, buxarlanacaq materiallarla yüklənmiş, havanın keçməsinə imkan verən, buxarlanan materialları birbaşa qızdırmaq və buxarlandırmaq və ya materialları oksidləşə bilən və digər oksidləşə bilən maddələrə qoymaq üçün uyğun bir forma yaratmaq üçün tantal, molibden, volfram və digər yüksək ərimə nöqtəsi metallardan istifadə etməkdir. dolayı istilik və buxarlanma. Bu müqavimətli istilik buxarlanma üsuludur.
Thevakuum buxarlanma örtük maşınımüqavimət qızdırıcısı ilə qızdırılan və buxarlanan sadə quruluş, aşağı qiymət və etibarlı istifadə üstünlüklərinə malikdir. Aşağı ərimə nöqtəsi olan materialların buxarlanma ilə örtülməsi üçün, xüsusilə örtük keyfiyyətinə aşağı tələblər olan kütləvi istehsal üçün istifadə edilə bilər. Bu günə qədər, alüminiumlaşdırılmış güzgülərin istehsalında istifadə edilən müqavimətli qızdırmanın və buxarlanmanın çox sayda örtük prosesləri hələ də mövcuddur.
Müqavimətli buxarlanma mənbəyinin buxarlanma ilə örtülməsi üsulunun dezavantajları istiliklə əldə edilə bilən maksimum temperaturun məhdud olması və qızdırıcının xidmət müddətinin də qısa olmasıdır. Son illərdə müqavimət buxarlanma mənbəyinin ömrünü yaxşılaşdırmaq üçün avadanlıq fabriki buxarlanma mənbəyi kimi uzun ömürlü bor nitridi ilə sintez edilmiş keçirici keramika materialını qəbul etmişdir. Yapon patent hesabatına görə, o, 20% ~ 30% bor nitridi və onunla birləşdirilə bilən odadavamlı materiallardan buxarlanma mənbəyini (pota) hazırlamaq və səthini 62% ~ 82% olan sirkonium təbəqəsi ilə örtə bilər, qalanları isə sirkonium-silikon ərintisi materiallarıdır.
Göndərmə vaxtı: 22 aprel 2023-cü il