Vakuum katod qövs ionucoating vakuum qövsü kimi qısaldılırcoyemək. İki və ya daha çox vakuum qövs buxarlanma mənbəyindən (qövs mənbələri kimi istinad edilir) istifadə olunursa, buna çox qövs ionu deyilir.coating və ya çox qövscoyemək. Bu, buxarlanma mənbələri üçün vakuum qövs boşalmasından istifadə edən vakuum ion örtük texnologiyasıdır. İçi boş katod boşalmasının isti elektron qövsündən fərqli olaraq, onun qövs forması soyuq katodun səthində katod qövsü ləkələrinin əmələ gəlməsidir.
Vakuum katod qövs ionunun xüsusiyyətləricobunlardır:
(1) Buxarlanma mənbəyi, ərimiş hovuza ehtiyac olmadan birbaşa katod hədəf mənbəyindən plazma yaradan bərk katod hədəfidir. Qövsün hədəf mənbəyi istənilən istiqamətdə və vahid örtüyü təmin etmək üçün çoxlu mənbələrdə təşkil edilə bilər.
(2) Avadanlıq strukturu nisbətən sadədir, işçi qaz və ya köməkçi ionlaşdırma üsullarına ehtiyac yoxdur. Qövsün hədəf mənbəyi təkcə katod materialı üçün buxarlanma mənbəyi deyil, həm də ion mənbəyidir; Reaktiv çökmə zamanı yalnız reaktiv qaz mövcuddur və atmosfer sadə tam təzyiq nəzarətindən istifadə etməklə idarə olunur.
(3) İonlaşma dərəcəsi yüksəkdir, ümumiyyətlə 60% ~ 80% -ə çatır və çökmə dərəcəsi yüksəkdir.
(4) Hadisə ion enerjisi yüksəkdir və yığılmış filmin film/substrat bağlama qüvvəsi yaxşıdır.
(5) Təhlükəsiz işləmək üçün aşağı gərginlikli enerji təchizatı istifadə edin.
(6) O, metal plyonkaları, ərinti plyonkaları yerləşdirə, müxtəlif mürəkkəb filmləri (ammiak birləşmələri, karbidlər, oksidlər) reaksiya verə və sintez edə, hətta DLC filmlərini, CN filmlərini və s. sintez edə bilər. Onun dezavantajı odur ki, çökdürmə zamanı hədəf səthdən kiçik maye damcıları sıçrayır ki, bu da örtülmüş plyonka təbəqəsinin kondensasiyasını artırır. Hal-hazırda bu mikro damcıları azaltmaq və aradan qaldırmaq üçün bir çox effektiv üsullar öyrənilmişdir.
Vakuum qövs ionucoting texnologiyası alətlər və qəliblər üçün çox sərt qoruyucu örtükləri örtmək üçün geniş istifadə edilmişdir. Kino sistemlərinə TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC və s. silah qara, qara, bənövşəyi, qəhvəyi, mavi Yaşıl boz və s.
Çox qövslü ioncoating, xüsusilə kəsici alətlər, qəliblər və paslanmayan polad lövhələr kimi materialların səthlərində dekorativ və aşınmaya davamlı sərt film təbəqələrinin örtülməsində geniş tətbiq sahəsinə və güclü praktikliyə malikdir.
Göndərmə vaxtı: 17 avqust 2023-cü il