طلاء مصدر التبخر المقاوم هو طريقة طلاء تبخر تفريغ أساسية. يشير "التبخر" إلى طريقة تحضير طبقة رقيقة، حيث تُسخّن مادة الطلاء في حجرة التفريغ وتُبخّر، فتتبخر ذرات المادة أو جزيئاتها وتنطلق من السطح، مُشكّلةً ظاهرة تدفق بخاري، يسقط على سطح الركيزة أو المادة، ثم يتكثف ليُشكّل طبقة صلبة.
طريقة طلاء مصدر التبخر بالمقاومة هي استخدام التنتالوم والموليبدينوم والتنغستن ومعادن أخرى عالية درجة الانصهار لصنع شكل مناسب لمصدر التبخر، حيث يُحمّل بالمواد المراد تبخيرها، ويمر الهواء من خلاله، ثم يُسخّن المواد المتبخرة مباشرةً ويُبخّرها، أو يُوضع في بوتقات الألومينا وأكسيد البريليوم وغيرها من الألومينا للتسخين والتبخير غير المباشر. هذه هي طريقة التبخير بالمقاومة.
الآلة طلاء التبخير الفراغييتميز التسخين والتبخير بواسطة سخان المقاومة بمزايا بساطة البنية، وانخفاض التكلفة، وموثوقية الاستخدام. ويمكن استخدامه في طلاء المواد ذات درجة الانصهار المنخفضة بالتبخير، وخاصةً في الإنتاج الضخم الذي يتطلب جودة طلاء منخفضة. وحتى الآن، لا تزال عمليات طلاء التسخين والتبخير بالمقاومة مستخدمة بكثرة في إنتاج المرايا المُغطاة بالألمنيوم.
من عيوب طريقة طلاء التبخير بمصدر التبخير المقاوم محدودية درجة الحرارة القصوى التي يمكن الوصول إليها بالتسخين، وقصر عمر السخان. في السنوات الأخيرة، ولتحسين عمر مصدر التبخير المقاوم، اعتمد مصنع المعدات مادة سيراميكية موصلة مُصنّعة من نتريد البورون، وهي مادة طويلة العمر، كمصدر تبخير. ووفقًا لتقرير براءة اختراع ياباني، يمكن استخدام مواد مكونة من 20% إلى 30% من نتريد البورون ومواد حرارية قابلة للصهر معها لصنع مصدر التبخير (البوتقة)، وطلاء سطحها بطبقة من الزركونيوم تحتوي على 62% إلى 82%، والباقي من سبائك الزركونيوم والسيليكون.
وقت النشر: ٢٢ أبريل ٢٠٢٣