Wat is 'n weerstandsverdampingsbronbedekking?

Weerstandsverdampingsbronbedekking is 'n basiese vakuumverdampingsbedekkingsmetode. "Verdamping" verwys na 'n dunfilmvoorbereidingsmetode waarin die bedekkingsmateriaal in die vakuumkamer verhit en verdamp word, sodat die materiaalatome of -molekules verdamp en van die oppervlak ontsnap, wat 'n dampvloeiverskynsel vorm, wat op die oppervlak van die substraat of substraat inval en uiteindelik kondenseer om 'n soliede film te vorm.

Die sogenaamde weerstandverdampingsbronbedekkingsmetode is om tantaal, molibdeen, wolfram en ander hoësmeltpuntmetale te gebruik om 'n gepaste vorm van die verdampingsbron te maak, wat gelaai word met materiale wat verdamp moet word, die lug deurlaat, die verdampte materiale direk verhit en verdamp, of die materiale wat verdamp moet word in alumina, berilliumoksied en ander kroesies plaas vir indirekte verhitting en verdamping. Dit is die weerstandverhittingsverdampingsmetode.

DievakuumverdampingsbedekkingsmasjienVerhit en verdamp deur 'n weerstandsverwarmer het die voordele van eenvoudige struktuur, lae koste en betroubare gebruik. Dit kan gebruik word vir die verdampingsbedekking van materiale met 'n lae smeltpunt, veral vir massaproduksie met lae vereistes vir bedekkingskwaliteit. Tot dusver is daar steeds 'n groot aantal bedekkingsprosesse van weerstandsverhitting en verdamping wat in gebruik geneem word in die produksie van aluminiumspieëls.

Die nadele van die weerstandverdampingsbron se verdampingsbedekkingsmetode is dat die maksimum temperatuur wat deur verhitting bereik kan word, beperk is, en die lewensduur van die verwarmer ook kort is. In onlangse jare, om die lewensduur van die weerstandverdampingsbron te verbeter, het die toerustingfabriek die geleidende keramiekmateriaal wat deur boornitried gesintetiseer word met 'n lang lewensduur as die verdampingsbron aangeneem. Volgens 'n Japannese patentverslag kan hulle materiale gebruik wat bestaan ​​uit 20%~30% boornitried en vuurvaste materiale wat daarmee saamgesmelt kan word om die verdampingsbron (kroes) te maak, en die oppervlak daarvan bedek met 'n laag sirkonium wat 62%~82% bevat, en die res is sirkonium-silikon legeringsmateriale.