Vakuumkatode-boogiooncoating word afgekort as vakuumboogcoAs twee of meer vakuumboogverdampingsbronne (verwys na as boogbronne) gebruik word, word dit multiboogioon genoem.coating of multi-boogcoating. Dit is 'n vakuumioonbedekkingstegnologie wat vakuumboogontlading vir verdampingsbronne gebruik. Anders as die warm elektronboog van hol katode-ontlading, is die boogvorm daarvan die vorming van katodeboogkolle op die oppervlak van die koue katode.
Die eienskappe van vakuumkatodeboogiooncoating is:
(1) Die verdampingsbron is 'n soliede katode-teiken, wat direk plasma vanaf die katode-teikenbron genereer sonder die behoefte aan 'n smeltbad. Die boogteikenbron kan in enige rigting en verskeie bronne gerangskik word om 'n eenvormige bedekking te verseker.
(2) Die toerustingstruktuur is relatief eenvoudig, sonder die behoefte aan werkgas of hulp-ionisasiemetodes. Die boogteikenbron is nie net 'n verdampingsbron vir die katodemateriaal nie, maar ook 'n ioonbron; Tydens reaktiewe afsetting bestaan slegs reaktiewe gas, en die atmosfeer word beheer deur 'n eenvoudige volle drukbeheer.
(3) Die ionisasietempo is hoog, gewoonlik 60%~80%, en die afsettingstempo is hoog.
(4) Die invallende ioonenergie is hoog, en die film/substraatbindingskrag van die neergesette film is goed.
(5) Gebruik van 'n laespanning-kragtoevoer vir veilige werking.
(6) Dit kan metaalfilms, allooifilms neerlê, verskeie saamgestelde films (ammoniakverbindings, karbiede, oksiede) reageer en sintetiseer, en selfs DLC-films, CN-films, ens. sintetiseer. Die nadeel daarvan is dat tydens neerlegging klein druppeltjies vloeistof van die teikenoppervlak spat, wat in die bedekte filmlaag kondenseer en die ruheid van die filmlaag verhoog. Tans is baie effektiewe metodes bestudeer om hierdie mikrodruppeltjies te verminder en uit te skakel.
VakuumboogiooncoVerwerkingstegnologie word wyd gebruik om superharde beskermende bedekkings vir gereedskap en vorms te bedek. Filmstelsels sluit in TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, ens. Bedekkingsprodukte sluit in gereedskap, vorms, ens. In terme van nabootsinggoud en kleurdekoratiewe beskermende bedekkings, sluit filmstelsels in TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, ens. Kleurfilmstelsels sluit in geweerswart, swart, pers, bruin, blougroengrys, ens.
Multi-boog iooncoAting het 'n wye reeks toepassings en is sterk prakties, veral in die bedekking van dekoratiewe en slytbestande harde filmlae op die oppervlaktes van materiale soos snygereedskap, vorms en vlekvrye staalplate.
Plasingstyd: 17 Augustus 2023