וואַקוום יאָן פּלייטינג (יאָן פּלייטינג אין קורץ) איז אַ נייַע ייבערפלאַך באַהאַנדלונג טעכנאָלאָגיע וואָס איז געווען ראַפּידלי דעוועלאָפּעד אין די 1970ער יאָרן, וואָס איז געווען פארגעשטעלט דורך DM Mattox פון Somdia Company אין די פאַרייניקטע שטאַטן אין 1963. עס באַציט זיך צו דעם פּראָצעס פון ניצן פאַרדאַמפּונג מקור אָדער ספּאַטערינג ציל צו פאַרדאַמפּן אָדער ספּאַטערן די פילם מאַטעריאַל אין די וואַקוום אַטמאָספער.
די ערשטע איז צו דזשענערירן מעטאַל פארע דורך הייצן און פארדאמפן דעם פילם מאַטעריאַל, וואָס ווערט טיילווייז ייאַניזירט אין מעטאַל פארע און הויך-ענערגיע נייטראַלע אַטאָמען אין דעם גאַז אָפּזאָגן פּלאַזמע פּלאַץ, און דערגרייכט דעם סאַבסטראַט צו פאָרמירן אַ פילם דורך דער אַקציע פון דעם עלעקטרישן פעלד; די לעצטע נוצט הויך-ענערגיע יאָנען (למשל, Ar+) און באַמבאַרדירט די ייבערפלאַך פון דעם פילם מאַטעריאַל אַזוי אַז די געשפּריצטע פּאַרטיקלען ווערן ייאַניזירט אין יאָנען אָדער הויך-ענערגיע נייטראַלע אַטאָמען דורך דעם פּלאַץ פון דעם גאַז אָפּזאָגן, און דערגרייכן די ייבערפלאַך פון דעם סאַבסטראַט צו פאָרמירן אַ פילם.
דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורך גואַנגדאָנג זשענהואַ, אַ פאַבריקאַנט פוןוואַקוום קאָוטינג עקוויפּמענט
פּאָסט צייט: 10טן מערץ 2023