Như chúng ta đã biết, định nghĩa về chất bán dẫn là nó có độ dẫn điện giữa các chất dẫn điện khô và chất cách điện, điện trở suất giữa kim loại và chất cách điện, thường ở nhiệt độ phòng nằm trong phạm vi 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm. Trong những năm gần đây, lớp phủ bán dẫn chân không trong các công ty bán dẫn lớn, rõ ràng là địa vị của nó ngày càng cao, đặc biệt là trong một số phương pháp nghiên cứu công nghệ phát triển mạch hệ thống tích hợp quy mô lớn cho các thiết bị chuyển đổi từ điện, thiết bị phát sáng và các công trình phát triển khác. Lớp phủ bán dẫn chân không có vai trò quan trọng.
Chất bán dẫn được đặc trưng bởi các đặc tính nội tại, nhiệt độ và nồng độ tạp chất. Vật liệu phủ bán dẫn chân không được phân biệt với nhau chủ yếu bởi các hợp chất cấu thành. Hầu như tất cả đều dựa trên bo, cacbon, silic, germani, asen, antimon, tellurium, iốt, v.v. và một số ít GaP, GaAs, lnSb, v.v. Ngoài ra còn có một số chất bán dẫn oxit, chẳng hạn như FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O, v.v.
Bốc hơi chân không, phủ phun, phủ ion và các thiết bị khác có thể thực hiện phủ bán dẫn chân không. Các thiết bị phủ này đều khác nhau về nguyên lý hoạt động, nhưng tất cả đều làm cho vật liệu phủ bán dẫn được lắng đọng trên chất nền, và với tư cách là vật liệu của chất nền, không có yêu cầu, nó có thể là chất bán dẫn hoặc không. Ngoài ra, các lớp phủ có các tính chất điện và quang khác nhau có thể được chế tạo bằng cả khuếch tán tạp chất và cấy ion trên bề mặt của chất nền bán dẫn trong một phạm vi. Lớp mỏng thu được cũng có thể được xử lý như một lớp phủ bán dẫn nói chung.
Lớp phủ bán dẫn chân không là một sự hiện diện không thể thiếu trong điện tử cho dù là đối với các thiết bị chủ động hay thụ động. Với sự tiến bộ liên tục của công nghệ lớp phủ bán dẫn chân không, việc kiểm soát chính xác hiệu suất của màng phim đã trở nên khả thi.
Trong những năm gần đây, lớp phủ vô định hình và lớp phủ đa tinh thể đã có những tiến bộ nhanh chóng trong sản xuất các thiết bị quang dẫn, ống hiệu ứng trường phủ và pin mặt trời hiệu suất cao. Ngoài ra, do sự phát triển của lớp phủ bán dẫn chân không và màng mỏng của cảm biến, cũng làm giảm đáng kể độ khó trong việc lựa chọn vật liệu và làm cho quá trình sản xuất dần được đơn giản hóa. Thiết bị phủ bán dẫn chân không đã trở thành sự hiện diện cần thiết cho các ứng dụng bán dẫn. Thiết bị được sử dụng rộng rãi để phủ bán dẫn cho các thiết bị camera, pin mặt trời, bóng bán dẫn phủ, phát xạ trường, ánh sáng catốt, phát xạ electron, các thành phần cảm biến màng mỏng, v.v.
Dây chuyền phủ phun magnetron được thiết kế với hệ thống điều khiển hoàn toàn tự động, giao diện người máy màn hình cảm ứng tiện lợi và trực quan. Dây chuyền được thiết kế với menu chức năng hoàn chỉnh để đạt được giám sát đầy đủ trạng thái hoạt động của toàn bộ các thành phần dây chuyền sản xuất, cài đặt tham số quy trình, bảo vệ hoạt động và chức năng báo động. Toàn bộ hệ thống điều khiển điện an toàn, đáng tin cậy và ổn định. Được trang bị mục tiêu phun magnetron hai mặt trên và dưới hoặc hệ thống phủ một mặt.
Thiết bị này chủ yếu được ứng dụng cho bảng mạch gốm, tụ điện cao áp chip và các lớp phủ nền khác, lĩnh vực ứng dụng chính là bảng mạch điện tử.
Thời gian đăng: 07-11-2022