Vakuumli ion qoplamasi (qisqacha ion qoplamasi) 1963 yilda Amerika Qo'shma Shtatlaridagi Somdia kompaniyasining DM Mattox tomonidan taklif qilingan 1970-yillarda tez sur'atlar bilan ishlab chiqilgan sirtni tozalashning yangi texnologiyasidir. Bu vakuumdagi plyonkali materialni bug'lantirish yoki sochish uchun bug'lanish manbai yoki püskürtme nishonidan foydalanish jarayonini anglatadi.
Birinchisi, gaz chiqarish plazmasi bo'shlig'ida metall bug'iga va yuqori energiyali neytral atomlarga qisman ionlangan va elektr maydonining ta'sirida plyonka hosil qilish uchun substratga etib boradigan kino materialini isitish va bug'lash orqali metall bug'ini hosil qilish; ikkinchisi yuqori energiyali ionlardan foydalanadi (Masalan, Ar +) plyonka materialining sirtini bombardimon qiladi, shunda purkalgan zarralar gaz chiqarish bo'shlig'i orqali ionlarga yoki yuqori energiyali neytral atomlarga ionlanadi va plyonka hosil qilish uchun substrat yuzasini amalga oshiradi.
Ushbu maqola ishlab chiqaruvchi Guangdong Zhenhua tomonidan nashr etilganvakuumli qoplama uskunalari
Yuborilgan vaqt: 2023-yil 10-mart