ۋاكۇئۇم ئىئون تەخسىسى (قىسقىچە ئىئون تاختا) 20-ئەسىرنىڭ 70-يىللىرىدا تېز تەرەققىي قىلغان يېڭى يۈزنى بىر تەرەپ قىلىش تېخنىكىسى بولۇپ ، ئۇ 1963-يىلى ئامېرىكىدىكى سومدىيا شىركىتىنىڭ DM ماتتوكىس تەرىپىدىن ئوتتۇرىغا قويۇلغان. ئۇ ۋاكۇئۇم ئاتموسفېراسىدىكى پار ماتېرىياللىرىنى پارغا ئايلاندۇرۇش ياكى پۈركۈش جەريانىنى كۆرسىتىدۇ.
ئالدىنقىسى مېتال ماتېرىيالنى قىزىتىش ۋە پارغا ئايلاندۇرۇش ئارقىلىق مېتال ھور ھاسىل قىلىش بولۇپ ، ئۇ گاز قويۇپ بېرىش پلازما بوشلۇقىدىكى قىسمەن مېتال ھور ۋە يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك نېيترال ئاتومغا ئايلىنىدۇ ۋە ئېلېكتر مەيدانىنىڭ ھەرىكىتى ئارقىلىق ئاستىرتۇسقا يېتىپ كىنو ھاسىل قىلىدۇ. كېيىنكىسى يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك ئىئوننى ئىشلىتىدۇ (مەسىلەن ، Ar +) فىلىم ماتېرىيالىنىڭ يۈزىنى بومباردىمان قىلىدۇ ، بۇنىڭ بىلەن پۈركۈلگەن زەررىچىلەر گاز قويۇپ بېرىش بوشلۇقى ئارقىلىق ئىئون ياكى يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك نېيترال ئاتومغا ئايلىنىدۇ ۋە يەر ئاستى سۈيىنىڭ يۈزىنى ھېس قىلىپ فىلىم ھاسىل قىلىدۇ.
بۇ ماقالە ئىشلەپچىقارغۇچى گۇاڭدۇڭ جېنخۇا تەرىپىدىن نەشر قىلىنغانۋاكۇئۇم سىرلاش ئۈسكۈنىسى
يوللانغان ۋاقتى: Mar-10-2023