Вакуум ион белән каплау (кыскача ион белән каплау) - 1970-нче елларда тиз эшләнгән яңа өслек эшкәртү технологиясе, ул 1963-нче елда АКШ-та Сомдия компаниясе DM Mattox тарафыннан тәкъдим ителгән. Бу вакуум атмосферасында парга әйләнү яки кино материалын парга әйләндерү процессына карый.
Соңгысы - металл парны җылыту һәм парга әйләндерү, металл парларга һәм газ чыгару плазмасы киңлегендә югары энергияле нейтраль атомнарга ионлаштырылган һәм электр кыры ярдәмендә кино формалаштыру өчен субстратка барып җитү; соңгысы югары энергияле ионнарны куллана (мәсәлән, Ar +) кино материалы өслеген бомбардировать итә, шуңа күрә газ кисәкчәләре ионга яки югары энергияле нейтраль атомнарга ионлаштырыла һәм кино формалаштыру өчен субстрат өслеген аңлый.
Бу мәкалә җитештерүче Гуандун Чжэнхуа тарафыннан бастырылганвакуум каплау җиһазлары
Пост вакыты: 10-2023 март