Vakum iyon kaplama (kısaca iyon kaplama), 1963 yılında ABD'li Somdia Şirketi'nden DM Mattox tarafından önerilen, 1970'li yıllarda hızla geliştirilen yeni bir yüzey işleme teknolojisidir. Film malzemesinin vakum atmosferinde buharlaştırılması veya püskürtülmesi için buharlaştırma kaynağı veya püskürtme hedefi kullanma sürecini ifade eder.
Birincisi, gaz deşarj plazma boşluğunda kısmen metal buharına ve yüksek enerjili nötr atomlara iyonize olan film malzemesini ısıtarak ve buharlaştırarak metal buharı üretmek ve elektrik alanının etkisiyle alt tabakaya ulaşarak bir film oluşturmaktır; ikincisi, yüksek enerjili iyonlar (örneğin, Ar+) kullanarak film malzemesinin yüzeyini bombalar, böylece püskürtülen parçacıklar gaz deşarj boşluğu boyunca iyonlara veya yüksek enerjili nötr atomlara iyonize olur ve alt tabakanın yüzeyini gerçekleştirerek bir film oluşturur.
Bu makale, Guangdong Zhenhua adlı bir üretici tarafından yayınlanmıştır.vakum kaplama ekipmanı
Gönderi zamanı: Mar-10-2023