Hepimizin bildiği gibi, yarı iletken tanımı, kuru iletkenler ve yalıtkanlar arasında bir iletkenliğe, metal ve yalıtkan arasındaki özdirencin genellikle oda sıcaklığında 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm aralığında olmasıdır. Son yıllarda, büyük yarı iletken şirketlerinde vakum yarı iletken kaplama, özellikle bazı büyük ölçekli entegre sistem devre geliştirme teknolojisi araştırma yöntemlerinden manyetoelektrik dönüşüm cihazlarına, ışık yayan cihazlara ve diğer geliştirme çalışmalarına kadar statüsünün giderek daha yüksek olduğu açıktır. Vakum yarı iletken kaplamanın önemli bir rolü vardır.
Yarı iletkenler, içsel özellikleri, sıcaklık ve safsızlık konsantrasyonu ile karakterize edilir. Vakum yarı iletken kaplama malzemeleri, esas olarak bileşen bileşikleri ile birbirinden ayrılır. Kabaca hepsi bor, karbon, silisyum, germanyum, arsenik, antimon, tellür, iyot vb. bazlıdır ve bazıları nispeten daha az GaP, GaAs, lnSb vb. bazlıdır. Ayrıca FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O vb. gibi bazı oksit yarı iletkenler de vardır.
Vakum buharlaştırma, püskürtme kaplama, iyon kaplama ve diğer ekipmanlar vakum yarı iletken kaplama yapabilir. Bu kaplama ekipmanlarının hepsi çalışma prensiplerinde farklıdır, ancak hepsi alt tabaka üzerine biriktirilen yarı iletken malzeme kaplama malzemesi yapar ve alt tabakanın malzemesi olarak yarı iletken olup olmaması gibi bir gereklilik yoktur. Ek olarak, farklı elektriksel ve optik özelliklere sahip kaplamalar, hem safsızlık difüzyonu hem de yarı iletken alt tabakanın yüzeyine bir aralıkta iyon aşılanmasıyla hazırlanabilir. Elde edilen ince tabaka genel olarak yarı iletken kaplama olarak da işlenebilir.
Vakum yarı iletken kaplama, aktif veya pasif cihazlar için olsun, elektronikte vazgeçilmez bir varlıktır. Vakum yarı iletken kaplama teknolojisinin sürekli ilerlemesiyle, film performansının hassas kontrolü mümkün hale gelmiştir.
Son yıllarda, amorf kaplama ve polikristalin kaplama, fotoiletken cihazların, kaplamalı alan etkili tüplerin ve yüksek verimli güneş hücrelerinin üretiminde hızla ilerleme kaydetti. Ayrıca, vakum yarı iletken kaplamanın ve sensörlerin ince filminin geliştirilmesi nedeniyle, malzeme seçimi zorluğunu önemli ölçüde azalttı ve üretim sürecini kademeli olarak basitleştirdi. Vakum yarı iletken kaplama ekipmanı, yarı iletken uygulamaları için gerekli bir varlık haline geldi. Ekipman, kamera cihazlarının, güneş hücrelerinin, kaplamalı transistörlerin, alan emisyonunun, katot ışığının, elektron emisyonunun, ince film algılama elemanlarının vb. yarı iletken kaplaması için yaygın olarak kullanılmaktadır.
Magnetron püskürtme kaplama hattı, tam otomatik bir kontrol sistemi, kullanışlı ve sezgisel bir dokunmatik ekran insan-makine arayüzü ile tasarlanmıştır. Hat, tüm üretim hattı bileşenleri için çalışma durumunun tam olarak izlenmesi, işlem parametre ayarı, çalışma koruması ve alarm işlevleri elde etmek için eksiksiz bir işlev menüsü ile tasarlanmıştır. Tüm elektrik kontrol sistemi güvenli, güvenilir ve kararlıdır. Üst ve alt çift taraflı magnetron püskürtme hedefi veya tek taraflı kaplama sistemi ile donatılmıştır.
Ekipmanlar esas olarak seramik devre kartları, çip yüksek voltajlı kapasitörler ve diğer alt tabaka kaplamalarına uygulanır, ana uygulama alanları elektronik devre kartlarıdır.
Yayın zamanı: 07-Kas-2022