Wakuum ion örtügi (ion örtügi diýlip atlandyrylýar) 1963-nji ýylda ABŞ-da Somdia kompaniýasy DM Mattox tarapyndan teklip edildi, 1970-nji ýyllarda täze ýüzleý işläp bejeriş tehnologiýasynyň çalt ösüşi boldy. Bu, wakuum atmosferasynda buharlanma çeşmesini ýa-da püskürtme nyşanyny ulanmagy aňladýar, şonuň üçin plýonka materialy buharlanyp ýa-da püskürip, buharlanyp ýa-da püskürip, gaz boşaltma giňişligindäki bölejikleriň bir bölegi metal ionlaryna ionlaşýar.
Bu bölejikler elektrik meýdanynyň täsiri astynda substratyň üstüne ýerleşdirilip, inçe plýonka prosesini döredýär.
Köp görnüşli wakuum ion örtügi, adatça membrananyň materialyna görä ion çeşmesini öndürmek üçin iki görnüşe bölünýär: buharlanma çeşmesiniň tipi ion örtügi we püskürtme nyşanasynyň tipi ion örtügi. Birinjisi, metal buglaryny öndürmek üçin plýonka materialyny gyzdyrmak arkaly buharlandyrylýar, şonuň üçin ol bölekleýin metal buglaryna we gaz boşaltma plazmasynyň giňişliginde ýokary energiýaly neýtral atomlara ionlaşdyrylýar, elektrik meýdanynyň rolu arkaly substrata ýetip, inçe plýonkalary döretmek üçin ulanylýar; ikinjisi, plýonka materialynyň ýüzünde ýokary energiýaly ionlaryň (meselem, Ar+) ulanylmagy bilen bombardman edilýär, bu bolsa bölejikleriň gaz boşaltma giňişliginden ionlaşdyrylan ionlara ýa-da ýokary energiýaly neýtral atomlara ionlaşdyrylyp, substratyň ýüzüne ýetip, plýonkany döretmek üçin püskürtmesini amala aşyrýar.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 7-nji marty