Rufin ion na injin tsotsar iska (wanda aka fi sani da ion plating) shine Amurka a shekarar 1963 Kamfanin Somdia DM Mattox ya gabatar da cewa shekarun 1970 sun kasance ci gaba cikin sauri na sabuwar fasahar maganin saman. Yana nufin amfani da tushen fitar iska ko kuma abin da ke haifar da fitar iska a cikin yanayi mai tsabta ta yadda kayan fim ɗin za su ƙafe ko su yi tururi, su ƙafe ko su fito daga wani ɓangare na barbashi a cikin sararin fitar iskar gas zuwa ion na ƙarfe.
Ana sanya waɗannan ƙwayoyin a kan substrate a ƙarƙashin aikin filin lantarki don samar da tsari mai siriri na fim.
Za a raba fenti na ion mai amfani da iskar gas iri-iri, yawanci bisa ga kayan membrane don samar da tushen ion zuwa nau'i biyu: fenti na ion mai amfani da iskar gas da fenti na ion mai amfani da iskar gas. Ana cire na farko ta hanyar dumama kayan fim don samar da tururin ƙarfe, ta yadda za a rage shi zuwa tururin ƙarfe da kuma atom masu aiki da ƙarfi a sararin plasma na fitar da iskar gas, ta hanyar rawar da filin lantarki ke takawa don isa ga substrate don samar da siririn fina-finai; na biyu shine amfani da ions masu aiki da ƙarfi (misali, Ar +) a saman fim ɗin don yin sputtering daga barbashi ta sararin fitar da iskar gas da aka canza zuwa ions ko atom masu aiki da ƙarfi, don isa saman substrate da samar da fim ɗin.
– An fitar da wannan labarin ne dagainjin shafa injin injinGuangdong Zhenhua
Lokacin Saƙo: Maris-07-2024

