تُعرف تقنية الطلاء الأيوني الفراغي (أو ما يُسمى بالطلاء الأيوني) بأنها تقنية جديدة لمعالجة الأسطح، طُرحت في الولايات المتحدة عام 1963 من قِبل شركة سومديا دي إم ماتوكس. وشهدت سبعينيات القرن العشرين تطورًا سريعًا. وتعتمد هذه التقنية على استخدام مصدر تبخير أو هدف رش في جو فراغي، حيث تتبخر أو تُرش مادة الفيلم، مما يؤدي إلى تأين جزء من الجسيمات في حيز التفريغ الغازي وتحويلها إلى أيونات معدنية.
تترسب هذه الجسيمات على الركيزة تحت تأثير المجال الكهربائي لتوليد عملية غشاء رقيق.
تتنوع تقنيات الطلاء الأيوني الفراغي، وعادةً ما تُقسم، وفقًا لمادة الغشاء المستخدم في إنتاج مصدر الأيونات، إلى نوعين: الطلاء الأيوني بالتبخير والطلاء الأيوني بالرش. في النوع الأول، يتم تبخير مادة الغشاء بتسخينها لإنتاج أبخرة معدنية، تتأين جزئيًا إلى أبخرة معدنية وذرات متعادلة عالية الطاقة في حيز بلازما التفريغ الغازي، ثم تصل هذه الأبخرة، بفعل المجال الكهربائي، إلى الركيزة لتكوين أغشية رقيقة. أما في النوع الثاني، فيتم استخدام أيونات عالية الطاقة (مثل أيونات الأرجون) لقصف سطح مادة الغشاء، مما يؤدي إلى رش الجسيمات عبر حيز التفريغ الغازي، فتتأين إلى أيونات أو ذرات متعادلة عالية الطاقة، لتصل إلى سطح الركيزة وتُكوّن الغشاء.
– نُشر هذا المقال بواسطةمصنع آلات الطلاء بالتفريغقوانغدونغ تشنهوا
تاريخ النشر: 7 مارس 2024