Пӯшиши ионии вакуумӣ (ки онро пӯшиши ионӣ меноманд) дар Иёлоти Муттаҳида соли 1963 аз ҷониби ширкати Somdia DM Mattox пешниҳод шуда буд, рушди босуръати технологияи нави коркарди сатҳ аз солҳои 1970 ба амал омад. Ин ба истифодаи манбаи бухоршавӣ ё ҳадафи пошидани об дар атмосфераи вакуумӣ ишора мекунад, то ки маводи плёнка бухоршавӣ ё пошидани об, бухоршавӣ ё пошидани об, қисме аз зарраҳо дар фазои холӣшавии газ ба ионҳои металлӣ табдил ёбанд.
Ин зарраҳо таҳти таъсири майдони электрикӣ барои ба вуҷуд овардани раванди плёнкаи тунук дар рӯи субстрат ҷойгир карда мешаванд.
Пӯшиши ионии вакуумии гуногун, одатан вобаста ба маводи мембрана, барои истеҳсоли манбаи ион, ба ду намуд тақсим мешавад: пӯшиши ионии навъи манбаи бухоршавӣ ва пӯшиши ионии навъи мақсадноки пошидан. Аввалин бо гарм кардани маводи плёнка барои истеҳсоли буғҳои металлӣ бухор мешавад, то қисман ба буғҳои металлӣ ва атомҳои бетарафи энергияи баланд дар фазои плазмаи ихроҷи газ ион карда шавад, ки тавассути нақши майдони электрикӣ барои расидан ба субстрат барои тавлиди плёнкаҳои тунук истифода мешавад; дуюмӣ истифодаи ионҳои энергияи баланд (масалан, Ar+) дар сатҳи маводи плёнка бо бомбаборон кардани маводи плёнка барои баровардани пошидан аз зарраҳо тавассути фазои ихроҷи газ, ки ба ионҳо ё атомҳои бетарафи энергияи баланд ион карда шудааст, барои расидан ба сатҳи субстрат ва тавлиди плёнка мебошад.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 07 марти соли 2024