व्हॅक्यूम आयन कोटिंग (ज्याला आयन प्लेटिंग असेही म्हणतात) हे १९६३ मध्ये अमेरिकेतील सोमडिया कंपनी डी. एम. मॅटॉक्स यांनी प्रस्तावित केलेले, १९७० च्या दशकात वेगाने विकसित झालेले एक नवीन पृष्ठभाग उपचार तंत्रज्ञान आहे. यामध्ये व्हॅक्यूम (निर्वात) वातावरणात बाष्पीभवन स्रोत किंवा स्पटरिंग टार्गेटचा वापर केला जातो, जेणेकरून फिल्मच्या पदार्थाचे बाष्पीभवन किंवा स्पटरिंग होते आणि वायू विसर्जन जागेतील बाष्पीभवन किंवा स्पटरिंगमधून बाहेर पडणाऱ्या कणांचा काही भाग आयनीकृत होऊन धातूच्या आयनांमध्ये रूपांतरित होतो.
पातळ थर तयार करण्याच्या प्रक्रियेत, हे कण विद्युत क्षेत्राच्या प्रभावाखाली सब्सट्रेटवर जमा केले जातात.
व्हॅक्यूम आयन प्लेटिंगचे अनेक प्रकार आहेत, सामान्यतः आयन स्रोत तयार करण्यासाठी वापरल्या जाणाऱ्या मेम्ब्रेन मटेरियलनुसार त्याचे दोन प्रकारांमध्ये वर्गीकरण केले जाते: इव्हॅपोरेशन सोर्स प्रकार आयन प्लेटिंग आणि स्पटरिंग टार्गेट प्रकार आयन प्लेटिंग. पहिल्या प्रकारात, फिल्म मटेरियलला उष्णता देऊन बाष्पीभवन करून धातूची वाफ तयार केली जाते, जी गॅस डिस्चार्ज प्लाझ्माच्या अवकाशात अंशतः आयनीकृत होऊन धातूची वाफ आणि उच्च-ऊर्जा न्यूट्रल अणूंमध्ये रूपांतरित होते. हे वायू विद्युत क्षेत्राच्या प्रभावाने सबस्ट्रेटपर्यंत पोहोचून पातळ थर तयार करतात; तर दुसऱ्या प्रकारात, फिल्म मटेरियलच्या पृष्ठभागावर उच्च-ऊर्जा आयनांचा (उदा., Ar+) मारा केला जातो, ज्यामुळे स्पटरिंगद्वारे बाहेर पडणारे कण गॅस डिस्चार्जच्या अवकाशातून आयन किंवा उच्च-ऊर्जा न्यूट्रल अणूंमध्ये रूपांतरित होऊन सबस्ट्रेटच्या पृष्ठभागापर्यंत पोहोचतात आणि थर तयार करतात.
हा लेख यांनी प्रसिद्ध केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन उत्पादकग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट करण्याची वेळ: ०७-मार्च-२०२४