Mipako ya ioni ya utupu (inayojulikana kama upako wa ioni) ni Marekani mwaka wa 1963, kampuni ya Somdia DM Mattox ilipendekeza, miaka ya 1970 imekuwa maendeleo ya haraka ya teknolojia mpya ya matibabu ya uso. Inamaanisha matumizi ya chanzo cha uvukizi au shabaha ya kunyunyizia katika angahewa ili nyenzo za filamu zivukie au kunyunyizia, kunyunyizia au kunyunyizia nje ya sehemu ya chembe katika nafasi ya kutokwa kwa gesi iliyochanganywa kuwa ioni za chuma.
Chembe hizi huwekwa kwenye substrate chini ya ushawishi wa uwanja wa umeme ili kutoa mchakato mwembamba wa filamu.
Upako wa ioni za utupu wa aina nyingi, kwa kawaida kulingana na nyenzo za utando ili kutoa chanzo cha ioni utagawanywa katika aina mbili: aina ya chanzo cha uvukizi upako wa ioni na upako wa ioni wa aina ya upukuaji. Ya kwanza huvukizwa kwa kupasha joto nyenzo za filamu ili kutoa mvuke wa chuma, ili iweze kubadilishwa kwa sehemu kuwa mvuke wa chuma na atomi zisizo na nishati nyingi katika nafasi ya plasma ya kutokwa kwa gesi, kupitia jukumu la uwanja wa umeme kufikia substrate ili kutoa filamu nyembamba; ya mwisho ni matumizi ya ioni zenye nishati nyingi (km, Ar +) kwenye uso wa nyenzo za filamu ili kufanya upukuaji wa chembe kupitia nafasi ya upukuaji wa gesi uliowekwa ioni au atomi zisizo na nishati nyingi, kufikia uso wa substrate na kutoa filamu.
– Makala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua
Muda wa chapisho: Machi-07-2024