Ibò ion vacuum (tí a mọ̀ sí ion plating) jẹ́ ti Orílẹ̀-èdè Amẹ́ríkà ní ọdún 1963. Ilé-iṣẹ́ Somdia DM Mattox dámọ̀ràn pé àwọn ọdún 1970 ti jẹ́ ìdàgbàsókè kíákíá ti ìmọ̀-ẹ̀rọ ìtọ́jú ojú ilẹ̀ tuntun. Ó tọ́ka sí lílo orísun ìtújáde tàbí ibi tí a fẹ́ fi sputtering sínú afẹ́fẹ́ afẹ́fẹ́ kí ohun èlò fíìmù náà lè gbẹ tàbí kí ó tú jáde, kí ó tú jáde tàbí kí ó jáde láti inú apá kan lára àwọn èròjà inú ààyè ìtújáde gaasi di ion irin.
Àwọn èròjà wọ̀nyí ni a fi sínú ilẹ̀ lábẹ́ agbára iná mànàmáná láti mú kí fíìmù tín-ínrín kan jáde.
Ìbòrí ion vacuum onírúurú, nígbà gbogbo gẹ́gẹ́ bí ohun èlò membrane láti ṣe orísun ion, ni a ó pín sí oríṣi méjì: ìbòrí ion oríṣiríṣi àti ìbòrí ion oríṣiríṣi tí a fẹ́ ṣe. A máa ń tú èyí àkọ́kọ́ jáde nípa gbígbóná ohun èlò fíìmù náà láti ṣe àwọn ìgbóná irin, kí ó lè di ion díẹ̀ sí àwọn ìgbóná irin àti àwọn átọ̀mù aláìlágbára gíga ní àyè plasma ìtújáde gaasi, nípasẹ̀ ipa pápá iná mànàmáná láti dé orí substrate láti ṣe àwọn fíìmù tín-tín; èyí tó kẹ́yìn ni lílo àwọn ion agbára gíga (fún àpẹẹrẹ, Ar +) lórí ojú ohun èlò fíìmù náà láti ṣe ìgbóná jáde láti inú àwọn èròjà náà nípasẹ̀ àyè ìtújáde gaasi tí a sọ di ion sínú àwọn ion tàbí àwọn átọ̀mù aláìlágbára gíga, láti dé ojú substrate náà kí ó sì ṣe fíìmù náà.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹta-07-2024