Sekoahelo sa ion sa vacuum (se bitsoang ion plating) ke sa United States ka 1963. Khamphani ea Somdia DM Mattox e ile ea sisinya, lilemong tsa bo-1970 e bile nts'etsopele e potlakileng ea theknoloji e ncha ea kalafo ea bokaholimo. E bua ka tšebeliso ea mohloli oa mouoane kapa sepheo sa ho sputter sepakapakeng sa vacuum e le hore thepa ea filimi e fetohe mouoane kapa e sputtering, e fetohe mouoane kapa e sputtering ho tsoa karolong ea likaroloana tse sebakeng sa khase e ntšitsoeng ionized hore e be li-ion tsa tšepe.
Likaroloana tsena li beoa holim'a substrate tlas'a ts'ebetso ea tšimo ea motlakase ho hlahisa ts'ebetso e tšesaane ea filimi.
Ho betla ha li-ion ka vacuum cleaner ka mefuta e mengata, hangata ho latela thepa ea lera ho hlahisa mohloli oa li-ion ho tla aroloa ka mefuta e 'meli: mofuta oa mohloli oa mouoane, ho betla ha li-ion le ho betla ha li-ion ka mofuta oa sepheo. Ea pele e fetoloa mouoane ka ho futhumatsa thepa ea filimi ho hlahisa mouoane oa tšepe, e le hore e be ionized ka karolo e itseng ho ba mouoane oa tšepe le liathomo tse se nang lehlakore tse nang le matla a mangata sebakeng sa plasma ea khase e ntšang, ka karolo ea tšimo ea motlakase ho fihlela substrate ho hlahisa lifilimi tse tšesaane; ea morao ke tšebeliso ea li-ion tse nang le matla a mangata (mohlala, Ar +) holim'a thepa ea filimi ho etsa hore ho betla ha likaroloana ka sebaka sa ho betla ha khase e ionized ho ba li-ion kapa liathomo tse se nang lehlakore tse nang le matla a mangata, ho fihla holim'a substrate le ho hlahisa filimi.
–Sengoloa sena se lokollotsoe kemoetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleanerGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Hlakubele-07-2024