O le ufiufi ion vacuum (e taʻua o le ion plating) na fautuaina e le kamupani Somdia DM Mattox i le Iunaite Setete i le 1963, o le vaitau o le 1970 na vave ai ona atinaʻeina se tekinolosi fou mo togafitiga o luga. E faʻatatau i le faʻaaogaina o le puna o le faʻamamago poʻo le sputtering target i totonu o se siosiomaga vacuum ina ia faʻamamago pe sputtering le ata tifaga, faʻamamago pe sputtering mai se vaega o vaega i totonu o le avanoa e faʻasaʻoloto ai le kesi ma faʻaionized i ions uʻamea.
O nei vaega e fa'apipi'iina i luga o le mea fa'avae i lalo o le gaioiga o le fanua eletise e fa'atupu ai se fa'agasologa o se ata manifinifi.
E tele ituaiga o le fa'apipi'iina o le ion vacuum, e masani lava e tusa ai ma le mea e gaosia ai le puna o le ion, e vaevaeina i ni ituaiga se lua: o le ituaiga fa'asusuina o le ion ma le ituaiga fa'apipi'iina o le ion e fa'atatau i le sputtering. O le muamua e fa'asusuina e ala i le fa'avevela o le mea tifaga e gaosia ai le ausa u'amea, ina ia fa'a-ionized fa'atasi i ausa u'amea ma atomu neutral e maualuga le malosi i le avanoa o le plasma fa'asa'olotoina o le kesi, e ala i le matafaioi o le fanua eletise e o'o atu ai i le substrate e fa'atupu ai ni ata manifinifi; o le mulimuli o le fa'aaogaina lea o ions malolosi (e pei o le Ar +) i luga o le mea tifaga e fa'apupuna ai le mea tifaga e faia ai le sputtering mai vaega e ala i le avanoa o le fa'asa'olotoina o le kesi e fa'a-ionized i ions po'o atomu neutral e maualuga le malosi, e o'o atu ai i le luga o le substrate ma fa'atupu ai le ata.
–O lenei tusiga ua fa'asalalauina egaosi oloa masini ufiufi vacuumGuangdong Zhenhua
Taimi na lafoina ai: Mati-07-2024