వాక్యూమ్ అయాన్ కోటింగ్ (దీనిని అయాన్ ప్లేటింగ్ అని కూడా అంటారు) అనేది 1963లో యునైటెడ్ స్టేట్స్లోని DM మ్యాటాక్స్ అనే సోమ్డియా కంపెనీ ప్రతిపాదించిన ఒక కొత్త ఉపరితల చికిత్స సాంకేతికత. ఇది 1970వ దశకంలో వేగంగా అభివృద్ధి చెందింది. దీనిలో, వాక్యూమ్ వాతావరణంలో బాష్పీభవన మూలాన్ని లేదా స్పుటరింగ్ టార్గెట్ను ఉపయోగిస్తారు, తద్వారా ఫిల్మ్ పదార్థం ఆవిరైపోయి లేదా స్పుటరింగ్ చెంది, దానిలోని కొంత భాగం కణాలు వాయు విడుదల ప్రదేశంలోకి చేరి లోహ అయాన్లుగా అయనీకరణం చెందుతాయి.
పలుచని పొర ప్రక్రియను రూపొందించడానికి విద్యుత్ క్షేత్రం యొక్క చర్య కింద ఈ కణాలు సబ్స్ట్రేట్పై నిక్షేపించబడతాయి.
వాక్యూమ్ అయాన్ ప్లేటింగ్లో అనేక రకాలు ఉన్నాయి, సాధారణంగా అయాన్ సోర్స్ను ఉత్పత్తి చేయడానికి ఉపయోగించే మెంబ్రేన్ మెటీరియల్ను బట్టి దీనిని రెండు రకాలుగా విభజిస్తారు: ఎవాపరేషన్ సోర్స్ టైప్ అయాన్ ప్లేటింగ్ మరియు స్పుటరింగ్ టార్గెట్ టైప్ అయాన్ ప్లేటింగ్. మొదటి పద్ధతిలో, ఫిల్మ్ మెటీరియల్ను వేడి చేయడం ద్వారా లోహ ఆవిరులను ఉత్పత్తి చేసి, వాటిని బాష్పీభవనం చెందిస్తారు. ఈ లోహ ఆవిరులు గ్యాస్ డిశ్చార్జ్ ప్లాస్మా యొక్క ప్రదేశంలో పాక్షికంగా అయనీకరణం చెంది, లోహ ఆవిరులుగా మరియు అధిక-శక్తి గల తటస్థ పరమాణువులుగా మారతాయి. ఇవి విద్యుత్ క్షేత్రం యొక్క ప్రభావంతో సబ్స్ట్రేట్ను చేరి పలుచని ఫిల్మ్లను ఏర్పరుస్తాయి; రెండవ పద్ధతిలో, ఫిల్మ్ మెటీరియల్ ఉపరితలంపై అధిక-శక్తి అయాన్లను (ఉదాహరణకు, Ar+) ప్రయోగించడం ద్వారా, ఆ కణాలు గ్యాస్ డిశ్చార్జ్ ప్రదేశం గుండా అయాన్లుగా లేదా అధిక-శక్తి గల తటస్థ పరమాణువులుగా స్పుటరింగ్ చెంది, సబ్స్ట్రేట్ ఉపరితలానికి చేరి ఫిల్మ్ను ఏర్పరుస్తాయి.
–ఈ వ్యాసం విడుదల చేసిందివాక్యూమ్ కోటింగ్ మెషిన్ తయారీదారుగ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా
పోస్ట్ చేసిన సమయం: మార్చి-07-2024