ۋاكۇئۇم ئىئون قاپلاش (ئىئون قاپلاش دەپ ئاتىلىدۇ) 1963-يىلى ئامېرىكىدا Somdia شىركىتى DM Mattox تەرىپىدىن ئوتتۇرىغا قويۇلغان بولۇپ، 1970-يىللاردىن باشلاپ يېڭى يۈزەكى بىر تەرەپ قىلىش تېخنىكىسى تېز سۈرئەتتە تەرەققىي قىلدى. ئۇ ۋاكۇئۇم ئاتموسفېراسىدا پارغا ئايلىنىش مەنبەسى ياكى پۈركۈش نىشانىنى ئىشلىتىشنى كۆرسىتىدۇ، بۇنىڭ بىلەن پىلاستىنكا ماتېرىيالى پارغا ئايلىنىش ياكى پۈركۈش، پارغا ئايلىنىش ياكى پۈركۈش ئارقىلىق گاز چىقىرىش بوشلۇقىدىكى زەررىچىلەرنىڭ بىر قىسمى مېتال ئىئونلىرىغا ئىئونلىشىدۇ.
بۇ زەررىچىلەر ئېلېكتر مەيدانىنىڭ تەسىرىدە ئاساسىي قاتلامغا چۆكۈپ، نېپىز پەردە ھاسىل قىلىدۇ.
ۋاكۇئۇم ئىئون قاپلاش ئۇسۇلى كۆپ خىل بولۇپ، ئادەتتە پەردە ماتېرىيالىغا ئاساسەن ئىئون مەنبەسىنى ھاسىل قىلىدۇ، ئىككى خىلغا بۆلىنىدۇ: پارغا ئايلىنىش مەنبەسى تىپىدىكى ئىئون قاپلاش ۋە پۈركۈش نىشان تىپىدىكى ئىئون قاپلاش. بىرىنچىسى، پىلاستىنكا ماتېرىيالىنى قىزىتىش ئارقىلىق پارغا ئايلىنىدۇ، مېتال پار ھاسىل قىلىدۇ، شۇڭا ئۇ قىسمەن ئىئونغا ئايلىنىدۇ، مېتال پار ۋە يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك نېيترال ئاتوملارغا ئايلىنىدۇ، گاز چىقىرىش پلازمىسى بوشلۇقىدا، ئېلېكتر مەيدانىنىڭ رولى ئارقىلىق ئاساسىي قاتلامغا يېتىپ بېرىپ نېپىز پەردە ھاسىل قىلىدۇ؛ كېيىنكىسى، پىلاستىنكا ماتېرىيالىنىڭ يۈزىگە يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك ئىئونلار (مەسىلەن، Ar+) نى ئىشلىتىپ، زەررىچىلەرنى گاز چىقىرىش بوشلۇقى ئارقىلىق پۈركۈش ئارقىلىق ئىئونغا ئايلىنىدۇ ياكى يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك نېيترال ئاتوملارغا ئايلىنىدۇ، ئاساسىي قاتلام يۈزىگە يېتىپ بېرىپ پەردە ھاسىل قىلىدۇ.
– بۇ ماقالە نەشر قىلغۇچى تەرىپىدىن تارقىتىلدىۋاكۇئۇم قاپلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2024-يىلى 3-ئاينىڭ 7-كۈنى