ভ্যাকুয়াম আয়ন কোটিং (আয়ন প্লেটিং নামেও পরিচিত) হলো একটি নতুন পৃষ্ঠতল প্রক্রিয়াকরণ প্রযুক্তি, যা ১৯৬৩ সালে মার্কিন যুক্তরাষ্ট্রের সোমডিয়া কোম্পানি ডিএম ম্যাটক্স প্রস্তাব করেছিল এবং ১৯৭০-এর দশকে এর দ্রুত বিকাশ ঘটে। এই পদ্ধতিতে একটি ভ্যাকুয়াম পরিবেশে ইভাপোরেশন সোর্স বা স্পাটারিং টার্গেট ব্যবহার করা হয়, যার ফলে গ্যাস ডিসচার্জ স্পেসে থাকা ফিল্ম উপাদানের কিছু কণা আয়নিত হয়ে ধাতব আয়নে পরিণত হয়।
পাতলা ফিল্ম তৈরির প্রক্রিয়ায় এই কণাগুলোকে বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের প্রভাবে সাবস্ট্রেটের উপর জমা করা হয়।
ভ্যাকুয়াম আয়ন প্লেটিং অনেক প্রকারের হয়, যা সাধারণত আয়ন উৎস তৈরির জন্য ব্যবহৃত মেমব্রেন উপাদানের উপর ভিত্তি করে দুই প্রকারে বিভক্ত করা হয়: ইভাপোরেশন সোর্স টাইপ আয়ন প্লেটিং এবং স্পাটারিং টার্গেট টাইপ আয়ন প্লেটিং। প্রথমটিতে ফিল্ম উপাদানকে উত্তপ্ত করে বাষ্পীভূত করা হয়, যার ফলে ধাতব বাষ্প তৈরি হয়। এই বাষ্প গ্যাস ডিসচার্জ প্লাজমার পরিসরে আংশিকভাবে আয়নিত হয়ে ধাতব বাষ্প এবং উচ্চ-শক্তির নিরপেক্ষ পরমাণুতে পরিণত হয় এবং বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের প্রভাবে সাবস্ট্রেটে পৌঁছে পাতলা ফিল্ম তৈরি করে। দ্বিতীয়টিতে, ফিল্ম উপাদানের পৃষ্ঠে উচ্চ-শক্তির আয়ন (যেমন, Ar+) দিয়ে আঘাত করা হয়, যার ফলে কণাগুলো স্পাটারিংয়ের মাধ্যমে গ্যাস ডিসচার্জ প্লাজমার পরিসরে আয়নিত হয়ে আয়ন বা উচ্চ-শক্তির নিরপেক্ষ পরমাণুতে পরিণত হয় এবং সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে পৌঁছে ফিল্ম তৈরি করে।
–এই নিবন্ধটি প্রকাশ করেছেভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্ট করার সময়: ০৭-মার্চ-২০২৪