Вакуум-ион каплавы (ион каплавы дип атала) - АКШта 1963 елда Somdia компаниясе DM Mattox тәкъдим иткән, 1970 елларда яңа өслек эшкәртү технологиясенең тиз үсеше күзәтелә. Бу вакуум атмосферасында парга әйләндерү чыганагын яки сиптерү максатларын куллануны аңлата, шуңа күрә пленка материалы парга әйләнә яки сиптерелә, парга әйләнә яки сиптерелә, газ чыгару урынындагы кисәкчәләрнең бер өлеше металл ионнарына ионлаша.
Бу кисәкчәләр электр кыры тәэсирендә субстратка урнаштырыла һәм юка пленка процессын барлыкка китерә.
Вакуум ион каплавының төрле төрләре, гадәттә мембрана материалына карап, ион чыганагын булдыру өчен ике төргә бүленә: парга әйләндерү чыганагы тибындагы ион каплавы һәм сиптерү максатчан тибындагы ион каплавы. Беренчесе пленка материалын җылытып металл парлары барлыкка китерү юлы белән парга әйләндерелә, шуңа күрә ул өлешчә металл парларына һәм югары энергияле нейтраль атомнарга газ чыгару плазмасы киңлегендә ионлаша, электр кыры роле аша субстратка барып җитеп, юка пленкалар барлыкка китерә; соңгысы - пленка материалы өслегендә югары энергияле ионнар (мәсәлән, Ar+) кулланып, кисәкчәләр ионнарга яки югары энергияле нейтраль атомнарга ионлаштырылган газ чыгару киңлеге аша субстрат өслегенә барып җитеп, пленка барлыкка китерә.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырып чыгару вакыты: 2024 елның 7 марты