Vakuumli ion qoplamasi (ion qoplamasi deb ataladi) 1963-yilda Qo'shma Shtatlarda Somdia kompaniyasi DM Mattox tomonidan taklif qilingan bo'lib, 1970-yillarda yangi sirtni tozalash texnologiyasi jadal rivojlanmoqda. Bu vakuum atmosferasida bug'lanish manbai yoki purkash nishonidan foydalanishni anglatadi, shunda plyonka materiali bug'lanadi yoki purkaladi, bug'lanadi yoki purkaladi, gaz chiqarish maydonidagi zarrachalarning bir qismi metall ionlariga ionlanadi.
Bu zarralar yupqa plyonka jarayonini hosil qilish uchun elektr maydoni ta'sirida substratga yotqiziladi.
Vakuumli ion qoplamalarining ko'p turlari, odatda membrana materialiga ko'ra, ion manbasini hosil qilish uchun ikki turga bo'linadi: bug'lanish manbai turidagi ion qoplamasi va purkash maqsadli turidagi ion qoplamasi. Birinchisi, metall bug'larini hosil qilish uchun plyonka materialini qizdirish orqali bug'lanadi, shunda u qisman metall bug'lariga va gaz chiqarish plazmasidagi yuqori energiyali neytral atomlarga ionlanadi, elektr maydonining roli orqali substratga yetib borib, yupqa plyonkalar hosil qiladi; ikkinchisi, plyonka materialining yuzasida yuqori energiyali ionlarni (masalan, Ar+) bombardimon qilish orqali ionlarga yoki yuqori energiyali neytral atomlarga ionlangan gaz chiqarish maydoni orqali zarrachalarni purkash orqali substrat yuzasiga yetib borish va plyonka hosil qilishdir.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Nashr vaqti: 2024-yil 7-mart