Wakuum ion örtügi (ion örtügi diýilýär) 1963-nji ýylda ABŞ-nyň Somdia kompaniýasy DM Mattox teklip etdi, 1970-nji ýyllar täze ýerüsti bejeriş tehnologiýasynyň çalt ösmegi boldy. Bu wakuum atmosferasynda bugarmak çeşmesiniň ýa-da tüýdük nyşanynyň ulanylmagyny aňladýar, şonuň üçin film materiallarynyň bugarmagy ýa-da tüýkürilmegi, bugarmagy ýa-da metal ionlaryna ionlaşdyrylan gaz çykaryş giňişligindäki bölejikleriň bir bölegi çykmagy.
Bu bölejikler inçe film prosesini döretmek üçin elektrik meýdanynyň täsiri astynda substrata ýerleşdirilýär.
Köp görnüşli vakuum ion örtügi, adatça ion çeşmesini öndürmek üçin membrananyň materialyna görä iki görnüşe bölüner: bugarmak çeşmesiniň görnüşi ion örtügi we nyşana görnüşli ion örtügi. Öňküsi metal buglary öndürmek üçin film materialyny gyzdyryp bugarýar, şonuň üçin bölekleýin metal buglaryna we gaz çykaryjy plazmanyň giňişliginde ýokary energiýa bitarap atomlara bölünip, inçe filmleri öndürmek üçin substrata ýetmek üçin elektrik meýdanynyň roly arkaly buglanýar; ikinjisi, ion materiallaryna ýa-da ýokary energiýa bitarap atomlara ionlaşdyrylan gaz akymynyň giňişliginden bölejikleriň dökülmegini, substratyň ýüzüne ýetmek we film döretmek üçin film material bombalanmagynyň üstünde ýokary energiýa ionlaryny (meselem, Ar +) ulanmakdyr.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: Mart-07-2024