Buharlandyryş we püskürtme bilen örtük bilen deňeşdirilende, ion örtüginiň iň möhüm aýratynlygy, çökündi bolup geçýän mahaly energiýaly ionlaryň substraty we plýonka gatlagyny bombardman etmegidir. Zarýadly ionlaryň bombardman edilmegi, esasan aşakdaky ýaly, birnäçe täsirleri döredýär.
1. Membran / esas baglanyş güýji (ýelimlenme) güýçli, plýonka gatlagy püskürme täsiri bilen substrata ion bombardman edilmegi sebäpli aňsatlyk bilen düşmeýär, şonuň üçin substrat arassalanýar, işjeňleşdirilýär we gyzdyrylýar, bu diňe bir substratyň ýüzünde gazyň adsorbsiýasyny we hapalanan gatlagy aýyrmak üçin däl, eýsem substratyň ýüzündeki oksidleri hem aýyrýar. Ion bombardmanynyň gyzdyrylmagy we kemçilikleri substratyň diffuziýa täsiriniň güýçlenmegi bilen ýüze çykyp biler, bu hem substratyň ýüz gatlagynyň gurluşynyň kristallik häsiýetlerini gowulandyrýar, hem-de legir fazalarynyň emele gelmegi üçin şertleri üpjün edýär; we ýokary energiýaly ion bombardmany, şeýle hem belli bir mukdarda ion implantasiýasyny we ion şöhlesiniň garyşma täsirini döredýär.
2 Ion örtügi ýokary basyş ýagdaýynda (1Pa-dan ýokary ýa-da deň) gowy aýlanyp geçýän radiasiýany öndürýändigi üçin, gaz molekulalary substrata tarap syýahatynda ionlaşan bug ionlary ýa-da molekulalary birnäçe çaknyşyklara duçar bolmazdan öň, substratda birnäçe gezek çaknyşýar, şonuň üçin plýonka bölejikleri substratyň töweregine sepilip bilner, şeýlelik bilen plýonka gatlagynyň örtügini gowulandyrýar; şeýle hem ionlaşan plýonka bölejikleri elektrik meýdanynyň täsiri astynda substratyň ýüzünde negatiw naprýaženiýeli islendik pozisiýada ýerleşdiriler, muny buharlandyryş örtügi bilen gazanyp bolmaýar.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 12-nji ýanwary