Ikilinganishwa na upako wa uvukizi na upako wa matone, sifa muhimu zaidi ya upako wa ioni ni kwamba ioni zenye nguvu hushambulia substrate na safu ya filamu wakati uwekaji unafanyika. Upako wa ioni zilizochajiwa hutoa mfululizo wa athari, hasa kama ifuatavyo.
① Nguvu ya kuunganisha utando/msingi (mshikamano) ikiwa na nguvu, safu ya filamu si rahisi kuanguka kutokana na kupigwa kwa ioni kwenye substrate inayotokana na athari ya kunyunyizia, ili substrate isafishwe, ianzishwe na kupashwa joto, si tu kuondoa ufyonzaji wa gesi kwenye uso wa substrate na safu iliyochafuliwa, lakini pia kuondoa uso wa oksidi za substrate. Kupigwa kwa ioni kwa joto na kasoro kunaweza kusababishwa na athari iliyoimarishwa ya uenezaji wa substrate, zote mbili ili kuboresha sifa za fuwele za mpangilio wa safu ya uso wa substrate, lakini pia hutoa masharti ya uundaji wa awamu za aloi; na kupigwa kwa ioni kwa nishati ya juu, lakini pia hutoa kiasi fulani cha upandikizaji wa ioni na athari ya mchanganyiko wa boriti ya ioni.
② Mipako ya ioni kutokana na kutoa mionzi mizuri ya kupita katika hali ya shinikizo kubwa (kubwa kuliko au sawa na 1Pa) ni ioni za mvuke au molekuli zenye ioni katika safari yake kuelekea kwenye substrate kabla ya molekuli za gesi kukutana na migongano kadhaa, hivyo chembe za filamu zinaweza kutawanyika kuzunguka substrate, hivyo kuboresha kifuniko cha safu ya filamu; na chembe za filamu zenye ioni pia zitawekwa chini ya kitendo cha uwanja wa umeme kwenye uso wa substrate yenye volteji hasi. Nafasi yoyote juu ya uso wa substrate yenye volteji hasi, ambayo haiwezi kupatikana kwa upako wa uvukizi.
– Makala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua
Muda wa chapisho: Januari-12-2024