بالمقارنة مع الترسيب بالتبخير والترسيب بالرش، فإن أهم ما يميز الترسيب الأيوني هو أن الأيونات عالية الطاقة تقصف الركيزة وطبقة الفيلم أثناء عملية الترسيب. وينتج عن قصف الأيونات المشحونة سلسلة من التأثيرات، أهمها ما يلي.
① قوة الترابط (الالتصاق) بين الغشاء والقاعدة قوية، مما يجعل طبقة الفيلم مقاومة للانفصال بسبب قصف الأيونات للركيزة الناتج عن تأثير التذرية. يؤدي ذلك إلى تنظيف الركيزة وتنشيطها وتسخينها، ليس فقط لإزالة الغازات الممتصة على سطحها والطبقة الملوثة، بل أيضًا لإزالة أكاسيد سطح الركيزة. يمكن أن يتسبب قصف الأيونات الناتج عن التسخين والعيوب في تعزيز تأثير الانتشار في الركيزة، مما يحسن الخصائص البلورية لبنية طبقة سطح الركيزة، ويوفر الظروف اللازمة لتكوين أطوار السبائك. كما أن قصف الأيونات عالي الطاقة ينتج عنه قدر معين من غرس الأيونات وتأثير خلط حزمة الأيونات.
٢- الطلاء الأيوني: ينتج عنه إشعاع جانبي جيد في حالة الضغط العالي (أكبر من أو يساوي 1 باسكال) أيونات أو جزيئات بخار متأينة في رحلتها إلى الركيزة قبل أن تواجه جزيئات الغاز عددًا من التصادمات، لذلك يمكن تشتيت جزيئات الفيلم حول الركيزة، مما يحسن تغطية طبقة الفيلم؛ كما سيتم ترسيب جزيئات الفيلم المتأينة تحت تأثير المجال الكهربائي على سطح الركيزة بجهد سالب في أي موضع على سطح الركيزة بجهد سالب، وهو ما لا يمكن تحقيقه عن طريق الطلاء بالتبخير.
– نُشر هذا المقال بواسطةمصنع آلات الطلاء بالتفريغقوانغدونغ تشنهوا
تاريخ النشر: 12 يناير 2024