Дар муқоиса бо пӯшиши бухоршавӣ ва пӯшиши пошидан, хусусияти муҳимтарини пӯшиши ионӣ дар он аст, ки ионҳои энергетикӣ ҳангоми таҳшиншавӣ субстрат ва қабати плёнкаро бомбаборон мекунанд. Бомбборонкунии ионҳои заряднок як қатор таъсирҳоро ба вуҷуд меорад, ки асосан чунинанд.
① Қувваи пайвастшавии мембрана/асос (часпидан) қавӣ аст, қабати плёнка аз сабаби бомбаборони ионӣ ба субстрат, ки дар натиҷаи таъсири пошидан ба вуҷуд меояд, ба осонӣ намеафтад, то субстрат тоза, фаъол ва гарм карда шавад, на танҳо адсорбсияи газро дар сатҳи субстрат ва қабати олудашуда нест мекунад, балки сатҳи оксидҳои субстратро низ тоза мекунад. Бомбборони ионӣ метавонад аз таъсири диффузияи афзояндаи субстрат ба вуҷуд ояд, ки ҳам хосиятҳои кристаллии ташкили қабати рӯизаминии субстратро беҳтар мекунад, балки инчунин шароитро барои ташаккули фазаҳои хӯла фароҳам меорад; ва бомбаборони ионӣ бо энергияи баландтар, балки инчунин миқдори муайяни имплантатсияи ионӣ ва таъсири омехтаи нури ионро ба вуҷуд меорад.
2 Пӯшиши ионӣ аз сабаби истеҳсоли радиатсияи хуби гузариш дар ҳолати фишори баландтар (зиёда аз 1Па ё баробар), ионҳо ё молекулаҳои буғи ионшуда ҳангоми сафар ба субстрат пеш аз он ки молекулаҳои газ бо як қатор бархӯрдҳо дучор шаванд, аз ин рӯ зарраҳои плёнка метавонанд дар атрофи субстрат пароканда шаванд ва бо ин роҳ пӯшиши қабати плёнкаро беҳтар кунанд; ва зарраҳои плёнкаи ионшуда инчунин таҳти таъсири майдони электрикӣ дар сатҳи субстрат бо шиддати манфӣ ҷойгир карда мешаванд.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 12 январи соли 2024