En comparación con la deposición por evaporación y la deposición por pulverización catódica, la característica más importante de la deposición iónica es que los iones energéticos bombardean el sustrato y la capa de película mientras se produce la deposición. El bombardeo de iones cargados produce una serie de efectos, principalmente los siguientes.
① La fuerza de unión (adhesión) entre la membrana y la base es fuerte, la capa de película no se desprende fácilmente debido al bombardeo iónico del sustrato generado por el efecto de pulverización catódica, de modo que el sustrato se limpia, activa y calienta, no solo para eliminar la adsorción del gas en la superficie del sustrato y la capa contaminada, sino también para eliminar los óxidos de la superficie del sustrato. El bombardeo iónico de calentamiento y defectos puede ser causado por el efecto de difusión mejorado del sustrato, tanto para mejorar las propiedades cristalinas de la organización de la capa superficial del sustrato, como para proporcionar las condiciones para la formación de fases de aleación; y el bombardeo iónico de mayor energía, también produce una cierta cantidad de implantación iónica y efecto de mezcla del haz iónico.
② El recubrimiento iónico, debido a que produce una buena radiación de derivación en el caso de una presión más alta (mayor o igual a 1 Pa), los iones o moléculas de vapor ionizados en su viaje hacia el sustrato antes de que las moléculas de gas encuentren una serie de colisiones, por lo que las partículas de la película pueden dispersarse alrededor del sustrato, mejorando así la cobertura de la capa de la película; y las partículas de película ionizadas también se depositarán bajo la acción del campo eléctrico en la superficie del sustrato con voltaje negativo en cualquier posición de la superficie del sustrato con voltaje negativo, lo que no se puede lograr mediante la deposición por evaporación.
–Este artículo es publicado porfabricante de máquinas de recubrimiento al vacíoGuangdong Zhenhua
Fecha de publicación: 12 de enero de 2024