បើប្រៀបធៀបទៅនឹងការស្រោបដោយហួត និងការស្រោបដោយប្រោះ លក្ខណៈពិសេសសំខាន់បំផុតនៃការស្រោបដោយអ៊ីយ៉ុងគឺថា អ៊ីយ៉ុងដ៏ស្វាហាប់នឹងបាញ់ទម្លាក់ស្រទាប់ខាងក្រោម និងស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត ខណៈពេលដែលការដាក់ស្រទាប់កើតឡើង។ ការបាញ់ទម្លាក់អ៊ីយ៉ុងដែលមានបន្ទុកបង្កើតជាស៊េរីនៃផលប៉ះពាល់ ដែលភាគច្រើនមានដូចខាងក្រោម។
① កម្លាំងភ្ជាប់ភ្នាស/មូលដ្ឋាន (ភាពស្អិត) ខ្លាំង ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តមិនងាយជ្រុះដោយសារការបាញ់អ៊ីយ៉ុងទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមដែលបង្កើតឡើងដោយឥទ្ធិពល sputtering ដូច្នេះស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានសម្អាត ធ្វើឱ្យសកម្ម និងកម្តៅ មិនត្រឹមតែដើម្បីយកការស្រូបយកឧស្ម័ននៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោម និងស្រទាប់ដែលមានមេរោគចេញប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងដើម្បីយកផ្ទៃនៃអុកស៊ីដស្រទាប់ខាងក្រោមចេញផងដែរ។ ការបាញ់អ៊ីយ៉ុងនៃកំដៅ និងពិការភាពអាចបណ្តាលមកពីឥទ្ធិពលសាយភាយប្រសើរឡើងនៃស្រទាប់ខាងក្រោម ទាំងដើម្បីកែលម្អលក្ខណៈសម្បត្តិគ្រីស្តាល់នៃការរៀបចំស្រទាប់ផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម ប៉ុន្តែក៏ផ្តល់នូវលក្ខខណ្ឌសម្រាប់ការបង្កើតដំណាក់កាលយ៉ាន់ស្ព័រផងដែរ។ និងការបាញ់អ៊ីយ៉ុងថាមពលខ្ពស់ ប៉ុន្តែក៏បង្កើតបរិមាណជាក់លាក់នៃការដាក់អ៊ីយ៉ុង និងឥទ្ធិពលលាយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង។
② ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងដោយសារតែបង្កើតវិទ្យុសកម្មឆ្លងកាត់បានល្អក្នុងករណីសម្ពាធខ្ពស់ (ធំជាង ឬស្មើនឹង 1Pa) គឺអ៊ីយ៉ុងចំហាយអ៊ីយ៉ូដ ឬម៉ូលេគុលក្នុងដំណើររបស់វាទៅកាន់ស្រទាប់ខាងក្រោមមុនពេលម៉ូលេគុលឧស្ម័ននឹងជួបប្រទះការប៉ះទង្គិចគ្នាមួយចំនួន ដូច្នេះភាគល្អិតខ្សែភាពយន្តអាចត្រូវបានខ្ចាត់ខ្ចាយជុំវិញស្រទាប់ខាងក្រោម ដោយហេតុនេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវការគ្របដណ្តប់នៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត; ហើយភាគល្អិតខ្សែភាពយន្តអ៊ីយ៉ូដក៏នឹងត្រូវបានដាក់នៅក្រោមសកម្មភាពនៃវាលអគ្គិសនីនៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានវ៉ុលអវិជ្ជមាន ទីតាំងណាមួយនៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានវ៉ុលអវិជ្ជមាន ដែលមិនអាចសម្រេចបានដោយការស្រោបហួត។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីក្វាងទុង ហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១២ ខែមករា ឆ្នាំ ២០២៤