Bug'lanish qoplamasi va purkash qoplamasi bilan solishtirganda, ion qoplamasining eng muhim xususiyati shundaki, cho'ktirish jarayonida energetik ionlar substrat va plyonka qatlamini bombardimon qiladi. Zaryadlangan ionlarni bombardimon qilish asosan quyidagicha bir qator effektlarni keltirib chiqaradi.
1 Membran / asos bog'lanish kuchi (yopishqoqlik) kuchli, plyonka qatlami puflash effekti natijasida substratning ion bombardimon qilinishi tufayli osonlikcha tushib ketmaydi, shuning uchun substrat tozalanadi, faollashadi va isitiladi, bu nafaqat substrat yuzasida gazning adsorbsiyasini va ifloslangan qatlamni yo'qotish, balki substrat yuzasi oksidlarini ham olib tashlash uchun ham amalga oshiriladi. Ion bombardimon qilinishi substratning diffuziya effektining kuchayishi natijasida yuzaga kelishi mumkin, bu substrat sirt qatlamining tashkil etilishining kristall xususiyatlarini yaxshilashga, shuningdek, qotishma fazalarining shakllanishi uchun sharoit yaratishga yordam beradi; va yuqori energiyali ion bombardimon qilinishi, shuningdek, ma'lum miqdorda ion implantatsiyasi va ion nurlarini aralashtirish effektini hosil qiladi.
2 Yuqori bosim (1Pa dan yuqori yoki unga teng) holatida yaxshi chetlab o'tuvchi nurlanish hosil qilishi sababli ion qoplamasi substratga o'tishda ionlangan bug ionlari yoki molekulalarini gaz molekulalari bir qator to'qnashuvlarga duch kelishidan oldin hosil qiladi, shuning uchun plyonka zarralari substrat atrofida tarqalishi mumkin, shu bilan plyonka qatlamining qoplanishi yaxshilanadi; va ionlangan plyonka zarralari ham elektr maydoni ta'sirida substrat yuzasida manfiy kuchlanish bilan cho'ktiriladi. Bug'lanish qoplamasi orqali erishib bo'lmaydigan manfiy kuchlanishli substrat yuzasida har qanday pozitsiya mavjud.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Nashr vaqti: 2024-yil 12-yanvar