Буулануу менен каптоо жана чачыратуу менен каптоо менен салыштырганда, иондук каптоонун эң маанилүү өзгөчөлүгү - чөкмө учурунда энергетикалык иондор субстратты жана пленка катмарын бомбалайт. Заряддалган иондорду бомбалоо бир катар эффекттерди жаратат, негизинен төмөнкүдөй.
1 Мембрана/негиз байланыш күчү (адгезия) күчтүү, пленка катмары чачыратуу эффектиси менен пайда болгон иондук бомбалоонун натыйжасында оңой менен түшүп калбайт, ошондуктан субстрат тазаланат, активдештирилет жана ысытылат, бул субстраттын бетиндеги газдын адсорбциясын жана булганган катмарды жок кылуу менен гана чектелбестен, субстраттын бетиндеги оксиддерди да жок кылат. Иондук бомбалоонун ысытууну жана кемчиликтерди күчөтүүсү субстраттын диффузиялык эффектисинин күчөшүнөн келип чыгышы мүмкүн, бул субстраттын беттик катмарынын түзүлүшүнүн кристаллдык касиеттерин жакшыртууга, ошондой эле эритме фазаларынын пайда болушу үчүн шарттарды түзүүгө мүмкүндүк берет; жана жогорку энергиялуу иондук бомбалоонун натыйжасында, ошондой эле белгилүү бир өлчөмдө ион имплантациясын жана ион нурунун аралаштыруу эффектин пайда кылат.
2 Иондук каптоо жогорку басымда (1Падан жогору же барабар) жакшы айланып өтүүчү нурланууну пайда кылгандыктан, газ молекулалары субстратка чейинки сапарында иондоштурулган буу иондору же молекулалары бир катар кагылышууларга туш болушат, ошондуктан пленка бөлүкчөлөрү субстраттын айланасына чачырап кетиши мүмкүн, ошентип пленка катмарынын каптоосун жакшыртат; жана иондоштурулган пленка бөлүкчөлөрү электр талаасынын таасири астында терс чыңалуудагы субстраттын бетинде чөгүшөт, буга буулануу менен каптоо аркылуу жетишүүгө болбойт.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 12-январы